本实用新型专利技术涉及晶圆扩膜设备的技术领域，具体为一种扩膜机扩膜高度的手动调节装置，基板上竖向滑动连接有扩膜载台，安装座上可拆卸连接有第一辅助板，第一辅助板上连接有第一光电开关，扩膜载台上沿周向间隔固定连接有与基板竖向滑动配合的两组第一导向杆，其中一组第一导向杆底部可拆卸连接有与第一光电开关配合的感应板，安装座上设有轴承座，基板上转动连接有与轴承座内圈固定连接的丝杠，丝杠上螺纹连接有第二辅助板，第二辅助板上可拆卸连接有与感应板对应的第二光电开关，基板底部固定连接有与第二辅助板滑动连接的第二导向杆，丝杠一端固定连接有调节旋钮，扩膜载台由动力装置驱动。置驱动。置驱动。
【技术实现步骤摘要】
一种扩膜机扩膜高度的手动调节装置
[0001]本技术涉及晶圆扩膜设备的
，具体为一种扩膜机扩膜高度的手动调节装置。
技术介绍
[0002]在加工晶圆时，常常要使用扩膜机对隐切或表切之后的晶圆进行扩膜操作，从而使晶圆分裂成单个的晶粒，便于后续的封装操作。在市场上，晶圆的种类繁多，不仅在晶圆半径上有各种规格划分，同样在晶圆厚度、晶粒大小等方面也存在着差异，此外晶圆的保护胶膜也不尽相同。针对不同的情况，往往需要相匹配的扩膜程度，以达到良好的扩膜效果，在扩膜机中，扩膜程度指的是胶膜的扩张程度，胶膜的扩张由扩膜高度直接控制；
[0003]在现有的设备中，对扩膜高度的调节是通过两个接近开关来实现，操作时往往需要将侧面盖板拆下，手动调整接近开关的位置，非常的不方便。
技术实现思路
[0004]针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供了一种扩膜机扩膜高度的手动调节装置，解决了现有的设备中，对扩膜高度的调节是通过两个接近开关来实现，操作时往往需要将侧面盖板拆下，手动调整接近开关的位置，非常的不方便的技术问题。
[0005]本技术采取的方案为：一种扩膜机扩膜高度的手动调节装置，包括基板、安装座，其特征在于，所述的基板上竖向滑动连接有扩膜载台，所述的安装座上可拆卸连接有第一辅助板，所述的第一辅助板上连接有第一光电开关，所述的扩膜载台上沿周向间隔固定连接有与基板竖向滑动配合的两组第一导向杆，其中一组所述的第一导向杆底部可拆卸连接有与第一光电开关配合的感应板，所述的安装座上设有轴承座，所述的基板上转动连接有与轴承座内圈固定连接的丝杠，所述的丝杠上螺纹连接有第二辅助板，所述的第二辅助板上可拆卸连接有与感应板对应的第二光电开关，所述的基板底部固定连接有与第二辅助板滑动连接的第二导向杆，所述的丝杠一端固定连接有调节旋钮，所述的扩膜载台由动力装置驱动。
[0006]优选的，所述的丝杠上端固定连接有小齿轮，所述的调节旋钮转动轴端固定连接有与小齿轮啮合的大齿轮，所述的基板底部设有与小齿轮、大齿轮对应的壳体。
[0007]优选的，所述的动力装置包括扩膜载台底部固定连接的辅助杆，所述的辅助杆由气动伸缩杆驱动，所述的气动伸缩杆与控制器间电性连接。
[0008]本技术的有益效果：
[0009]通过旋钮手柄，带动大齿轮以及小齿轮转动，经过传动，最终使得丝杠转动带动第二光电开关作升降运动，达到调节扩膜高度的目的，同时通过大齿轮以及小齿轮弥补一般丝杆导程不大的缺陷，使扩膜机在调整扩膜高度时更加的方便、灵活。
附图说明
[0010]图1是本技术的立体图视角之一。
[0011]图2是本技术的立体图视角之二。
[0012]图3是图2的A局部放大图。
[0013]图4是本技术的立体剖视图视角之一。
[0014]附图标记：1、基板；2、安装座；3、扩膜载台；4、第一辅助板；5、第一光电开关；6、第一导向杆；7、感应板；8、轴承座；9、丝杠；10、第二辅助板；11、第二光电开关；12、第二导向杆；13、调节旋钮；14、小齿轮；15、大齿轮；16、壳体；17、辅助杆。
具体实施方式
[0015]有关本技术的前述及其他
技术实现思路
、特点与功效，在以下配合参考附图1
‑
4实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的结构内容，均是以说明书附图为参考。
[0016]下面将参照附图描述本技术的各示例性的实施例。
[0017]实施例一，一种扩膜机扩膜高度的手动调节装置，包括基板1、安装座2，其特征在于，所述的基板1上竖向滑动连接有扩膜载台3，所述的安装座上可拆卸连接有第一辅助板4，所述的第一辅助板4上连接有第一光电开关5，所述的扩膜载台3上沿周向间隔固定连接有与基板1竖向滑动配合的两组第一导向杆6，其中一组所述的第一导向杆6底部可拆卸连接有与第一光电开关5配合的感应板7，所述的安装座2上设有轴承座8，所述的基板1上转动连接有与轴承座8内圈固定连接的丝杠9，所述的丝杠9上螺纹连接有第二辅助板10，所述的第二辅助板10上可拆卸连接有与感应板7对应的第二光电开关11，所述的基板1底部固定连接有与第二辅助板10滑动连接的第二导向杆12，所述的丝杠9一端固定连接有调节旋钮13，所述的扩膜载台3由动力装置驱动。
[0018]实施例二，在实施例一的基础上，所述的丝杠9上端固定连接有小齿轮14，所述的调节旋钮13转动轴端固定连接有与小齿轮14啮合的大齿轮15，所述的基板1底部设有与小齿轮14、大齿轮15对应的壳体16。
[0019]实施例三，在实施例二的基础上，所述的动力装置包括扩膜载台3底部固定连接的辅助杆17，所述的辅助杆17由气动伸缩杆驱动，所述的气动伸缩杆与控制器间电性连接。
[0020]该实施例在使用的时候，本技术根据扩膜机的特点而设计，扩膜机在作业过程中通过外部动力源驱动扩膜载台3进行往复运动，从而完成扩膜工序；
[0021]由于晶圆在胶膜种类、晶粒大小、晶圆厚度以及切割状况等方面存在差异，因此在扩膜时需要对扩膜高度进行调整，以适应不同的情况；
[0022]扩膜高度下限一般为0，在安装座2固定安装有第一光电开关5进行限位，需要对扩膜高度上限调整时，转动调节旋钮13，经过传动结构，使得丝杠9转动，随着丝杆的转动，带动第二光电开关11做上下移动，完成对扩膜高度上限的调节，当气动伸缩杆带动扩膜载台3作升降运动，通过感应板7与第一光电开关5、第二光电开关11配合，当感应头达到第二光电开关11处，气动伸缩杆停止动作，完成晶圆扩膜工作，通过旋转调节旋钮13，可以适用于不同胶膜的扩张；解决了现有技术中操作时往往需要将侧面盖板拆下，手动调整接近开关的位置，非常的不方便的技术问题；
[0023]鉴于丝杆的导程一般不高，增加一种手动调节的方式进行，故需要在丝杆和旋钮之间增设大齿轮15、小齿轮14配合，使旋钮转动一周所能带来的调整范围可以数倍于丝杆导程；
[0024]在待机时，扩膜载台3处于初始位置，此时扩膜高度为0，调节旋钮13设定一个上限高度，开启主驱动，扩膜载台3达到上限高度时，连接的感应头触发上限光电开关，反馈至主控制系统对主驱动进行停机，完成一次扩膜作业。
[0025]上面所述只是为了说明本技术，应该理解为本技术并不局限于以上实施例，符合本技术思想的各种变通形式均在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种扩膜机扩膜高度的手动调节装置，包括基板（1）、安装座（2），其特征在于，所述的基板（1）上竖向滑动连接有扩膜载台（3），所述的安装座（2）上可拆卸连接有第一辅助板（4），所述的第一辅助板（4）上连接有第一光电开关（5），所述的扩膜载台（3）上沿周向间隔固定连接有与基板（1）竖向滑动配合的两组第一导向杆（6），其中一组所述的第一导向杆（6）底部可拆卸连接有与第一光电开关（5）配合的感应板（7），所述的安装座（2）上设有轴承座（8），所述的基板（1）上转动连接有与轴承座（8）内圈固定连接的丝杠（9），所述的丝杠（9）上螺纹连接有第二辅助板（10），所述的第二辅助板（10）上可拆卸连接有与感应板（7）对应的第二光电开关（11），所述的基...
【专利技术属性】
技术研发人员：张燕，何在田，
申请(专利权)人：郑州轨道交通信息技术研究院，
类型：新型
国别省市：
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