晶圆加工过程中定心装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于转运晶圆定心设备的技术领域，具体为晶圆加工过程中定心装置，支撑平台上竖向设有直线模组，直线模组移动端固定连接有放置平台，放置平台上设有晶圆放置框，支撑平台上间隔固定连接有四组支撑柱，四组支撑柱上固定连接有辅助板，辅助板上间隔固定连接有两组滑动轨道，两组滑动轨道上滑动连接有四组第一滑动块、四组第二滑动块，四组第一滑动块、第二滑动块上均固定连接有定位板，定位板上固定连接有定位轨道，辅助板底部间隔转动连接有连接有两组同步轮，两组同步轮间同步带连接，其中一组同步轮由定位电机驱动，定位板底部固定连接有与同步带配合的辅助过渡杆。部固定连接有与同步带配合的辅助过渡杆。部固定连接有与同步带配合的辅助过渡杆。

【技术实现步骤摘要】
晶圆加工过程中定心装置


[0001]本技术属于转运晶圆定心设备的
，具体为晶圆加工过程中定心装置。

技术介绍

[0002]在一种晶圆的生产过程中，需要对晶圆的钢环进行转运，便于对晶圆的加工，在晶圆转动过程中，通过机械手进行转运，机械手位置是固定不变，但晶圆钢环位置在转运过程中会发生变化，若不进行定心调整的话，可能导致机械手在吸附晶圆时吸附位置会发生改变，从而导致增大预设放置位置的偏差，造成加工晶圆损坏，制造成本增加。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供了晶圆加工过程中定心装置，解决了现有的圆钢环位置在转运过程中会发生变化，可能导致机械手在吸附晶圆时吸附位置会发生改变，从而导致增大预设放置位置的偏差，造成加工晶圆损坏，制造成本增加的技术问题。
[0004]本技术采取的方案为：晶圆加工过程中定心装置，包括支撑平台、定位电机，其特征在于，所述的支撑平台上竖向设有直线模组，所述的直线模组移动端固定连接有放置平台，所述的放置平台上设有晶圆放置框，所述的支撑平台上间隔固定连接有四组支撑柱，四组所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆加工过程中定心装置，包括支撑平台（1）、定位电机（2），其特征在于，所述的支撑平台（1）上竖向设有直线模组（3），所述的直线模组（3）移动端固定连接有放置平台（4），所述的放置平台（4）上设有晶圆放置框（5），所述的支撑平台（1）上间隔固定连接有四组支撑柱（6），四组所述的支撑柱（6）上固定连接有辅助板（7），所述的辅助板（7）上间隔固定连接有两组滑动轨道（8），两组所述的滑动轨道（8）上滑动连接有四组第一滑动块9、四组第二滑动块（10），四组所述的第一滑动块（9）、第二滑动块（10）上均固定连接有定位板（11），所述的定位板（11）上固定连接有定位轨道（12），所述的辅助板（7）底部间隔转动连接有两组同步轮（13），两组所述的同步轮（13）间同...

【专利技术属性】
技术研发人员：焦点，董和平，兑志魁，
申请(专利权)人：郑州轨道交通信息技术研究院，
类型：新型
国别省市：