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本实用新型属于转运晶圆定心设备的技术领域，具体为晶圆加工过程中定心装置，支撑平台上竖向设有直线模组，直线模组移动端固定连接有放置平台，放置平台上设有晶圆放置框，支撑平台上间隔固定连接有四组支撑柱，四组支撑柱上固定连接有辅助板，辅助板上间隔固...
该专利属于郑州轨道交通信息技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过郑州轨道交通信息技术研究院授权不得商用。

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