本发明涉及一种MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统及检测方法，其包括控制计算机及用于放置待测晶圆的晶圆平台，所述晶圆平台通过晶圆平台控制器与控制计算机相连；所述晶圆平台上放置有探针台，所述探针台通过探针台控制器与控制计算机相连；所述控制...

本发明公开了一种MEMS温度传感器的封装结构及其制造方法。其封装结构包括：MEMS衬底、MEMS温度传感器、薄膜封帽、密封键合材料、热传导通道，所述MEMS衬底上承载有MEMS温度传感器，薄膜封帽覆盖在MEMS衬底上，薄膜封帽与MEMS...

本发明提供了一种单片集成MEMS电容传感器锁相放大电路，该电路包括四个部分：MEMS电容桥式电路，信号输入通道、参考信号输入通道、相关器。其中，MEMS电容桥式电路为MEMS器件部分，其余部分为CMOS电路部分。信号通道中有前置放大器、...

本发明涉及一种用于传感器芯片的开放式封装结构及其制造方法，其包括承载衬底及位于所述承载衬底上的传感器结构；所述承载衬底上键合固定有封装封盖，所述封装封盖包括用于与承载衬底键合连接的封盖基体，所述封盖基体内包括用于容纳传感器结构的腔体；封...

本发明涉及一种智能型土培植物生长栽培装置。其包括栽培花盆，栽培花盆包括控制及显示区域，培植区域，蓄水区域。控制及显示区域位于栽培花盆侧面，蓄水区域位于培植区域下方，培植区域底部设置渗水漏斗，连通至蓄水区域；所述栽培花盆的上沿设有光照传感...

本发明涉及一种热电发生器，尤其是一种柔性微型热电发生器及其制造方法，属于热电发生器的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述柔性微型热电发生器，包括柔性衬底，所述柔性衬底上设置若干交替分布的N型热电材料层及P型热电材料层，所述N型热电材...

本发明公开了一种面向主题定制的新闻情报提取系统，包括：新闻搜集子系统，完成搜索用户定制的相关主题的相关新闻并提取新闻文本的功能；文本处理子系统，将文本分成不同的类，在此基础上对文本的内容进行话题检测、话题追踪，同时自动生成文摘，建立相应...

本发明涉及一种实用的植物生长环境监测控制系统，属于环境监测的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述实用的植物生长环境监测控制系统，包括监测控制器，所述监测控制器的输入端分别与pH值测量电路相连，且监测控制器还与触摸屏相连；pH值测量电...

本发明涉及一种基于黒硅的高性能MEMS热电红外探测器及其制备方法，其包括衬底；衬底上设有释放阻挡带，释放阻挡带内具有热隔离腔体，热隔离腔体的正上方设有黒硅红外吸收区，黒硅红外吸收区的外侧设有热电堆，黒硅红外吸收区外侧的热电堆相互串接后电...

本发明公开了一种在玻璃上制备通孔及互连的方法，其步骤包括：多个玻璃基片通过聚合物的叠层粘结键合；制作垂直于叠层玻璃基片表面的通孔；叠层玻璃通孔的金属化填充；叠层玻璃的拆键合。本发明的优点是：采用玻璃基片叠层键合的方法将多层玻璃基片同时制...

本发明公开了一种基于数字地图的城市交通流网络并行信息系统，以LBS系统为框架，以浏览器和安卓应用为展示平台，其中包括有：定位服务模块，为路况服务模块和路径规划服务模块提供定位参数；路况服务模块，接收定位服务模块提供的定位信息，将所在城市...

本发明涉及一种低功耗轻薄型中小尺寸声波触摸屏，按照本发明提供的技术方案，所述低功耗轻薄型中小尺寸声波触摸屏，包括触摸屏屏体及位于所述触摸屏屏体上表面用于检测触控操作的主动探测电路，所述触摸屏屏体下方设有若干被动值守传感器，所述被动值守传...

本实用新型涉及一种轮廓构造装置，它包括FPGA、DSP芯片、USB接口三大部件，其中，所述FPGA通过SPI总线与外围设备的传感器连接器连接，所述FPGA通过EMIF总线与DSP芯片连接，同时，FPGA与USB接口相连，所述USB接口与...

本发明涉及一种用于拥挤场景下的多个行人检测方法，其包括如下步骤：a.输入含有多个训练样本图像的训练集，将训练样本图像中行人分成若干子类，每个子类对应一种行人变化；b.建立训练集行人表象特征模型；c.建立训练集上的行人空间相互关系模型；d...

本发明提出了一种光伏跟踪系统的回追跟踪方法，在不对其他光伏阵列产生阴影的情况下的最大化跟踪太阳的方法。首先计算太阳在准赤道坐标系统中的位置，此时为最大效率的电能输出，为确保光伏阵列的任一列的阴影不遮挡与其相邻的任一光伏阵列，阴影长度应该...

本发明涉及一种具有按压输入功能的手机套，其在手机套壳内设置蓝牙模块、薄膜式压力感应器、A/D转换器、电池、薄膜开关以及薄膜基导线，所述薄膜开关与蓝牙模块相连，所述薄膜式压力感应器与电阻串联后与电池形成回路，薄膜式压力感应器与电阻串联的点...

本发明提供了一种冷光导航定位信息显示卡，包括：多段冷光片、RFID收发天线、冷光片驱动模块、信号处理芯片、超薄电池，所述冷光片驱动模块用于输出多路驱动信号，每一个驱动信号输出端分别接多段冷光片的一个段电极，多段冷光片的公共电极接冷光片驱...

本发明涉及一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法，其包括衬底；衬底上设有释放阻挡带，释放阻挡带内具有热隔离腔体，热隔离腔体的正上方设有黒硅红外吸收区，黒硅红外吸收区位于释放阻挡带上；黒硅红外吸收区的外侧设有若干热电堆，黒硅红...

本发明公开了一种MEMS薄膜电容式多参数传感器的结构及其集成制造方法。在MEMS承载衬底上并列设有MEMS薄膜电容式压力、温度和湿度传感器。三种传感器的电极、牺牲层、敏感层、敏感膜以及保护层均采用互相匹配的结构与材料，从而能够通过集成的...

本发明涉及一种电阻并联反馈式差分低噪声放大器，其包括主放大电路，所述主放大电路包括第一MOS管、第二MOS管、第三MOS管及第四MOS管，第一MOS管的栅极端通过第一输入匹配网络与第一差分输入端相连，第二MOS管通过第二输入匹配网络与第...