本发明涉及一种光刻机对焦方法，该方法中判断焦距差值是否满足要求、计算新的焦距参数、将新的焦距参数发送给光刻机都由半导体生产自动化系统来实现，自动化程度高，可以提高效率和准确度，方便了工程师进行统计、分析，避免了由于人为异常造成的失误，能...

本实用新型提供一种带有行程限位机构的显微镜，包括载物台［３］、目镜［１］、底座［６］、钝角折形挡板［８］和条形连接块［９］，钝角折形挡板［８］呈“＊”形，条形连接块［９］固定在底座［６］上，挡板［８］的倾斜段开有导槽，以可活动连接方式安...

本发明涉及一种用于窄测试键的多针探针测试卡，在探针测试卡的两侧具有至少两排对应的探针，上述探针与探针测试卡的通道中接出的金属线相连。采用本发明的构造，可以增加探针和测试键的接触面积，解决由于针压减少而引起的金属线和接触窗阻值测试不稳定的...

本发明提供一种监测探针卡状态的方法，其步骤为：①首先在测试键各金属垫间设置阻值相同的电阻阵列，最左边的金属垫与最右边的电阻通过围绕测试键的两条金属线相连；②测金属垫Ⅰ和金属垫Ⅱ之间的电阻；③判断测到的电阻是否为正常值：如果是，则继续测金...

一种氮氧化硅薄膜的等离子处理程度的光学检测方法，包括先用化学汽相沉积法在半导体晶片上沉积氮氧化硅薄膜，然后对其进行等离子处理，最后利用光学检测方法对氮氧化硅薄膜的等离子处理程度进行光学检测。根据氮氧化硅薄膜的折射率或反射率的变化判断其等...

本实用新型提供了一种负压封闭式取样装置，包括：产生负压的负压发生器；吸收尾气的尾气吸收室，通过可拆卸的负压管连接负压发生器；放置取样容器的取样室，通过可拆卸的尾气管连接尾气吸收室，通过可拆卸的取样管连接样品源，通过可拆卸的进气管进入常压...

本发明涉及超纯水制造技术领域，且特别涉及一种超纯水制造系统中监测混床树脂塔是否发生穿透的方法及其超纯水制造系统。一种监测混床树脂塔是否发生穿透的方法，包括下列步骤：Ａ．测量混床树脂塔出口的水中的硼含量；Ｂ．比较上述硼含量数值是否高于一预...

本实用新型公开了一种气相沉积腔体的感温装置，包括有温度感应器、测温线、连接器接头及计量显示器，其中测温线为双线，测温线的一端与深埋于铝盘内部的温度感应器相连，另一端则通过连接器接头接至计量显示器，其特征在于：所述的测温线在易损区段的两端...

本实用新型公开了一种溶液缓存桶液位传感器安装结构，它包括开设在溶液缓存桶的侧部的支管路，所述的支管路的两端部均与所述的溶液缓存桶相连通，所述的支管路的两端部位于不同的高度；多个液位侦测器设置在所述的支管路上。本实用新型有如下优点：（１）...

本实用新型公开了一种液体管路流量侦测报警装置，它包括液体管路流量侦测装置、报警装置，所述的液体管路流量侦测装置用于测量并显示管路中的液体流量值，所述的报警装置与所述的液体管路流量侦测装置相通信，所述的报警装置用于在液体流量值高于设定的上...

本发明公开了一种液体管路流量侦测报警装置，它包括液体管路流量侦测装置、报警装置，所述的液体管路流量侦测装置用于测量并显示管路中的液体流量值，所述的报警装置与所述的液体管路流量侦测装置相通信，所述的报警装置用于在液体流量值高于设定的上限值...

本实用新型提供的炉管装置，是针对现有技术的炉管装置中的喷管容易被吸出与旋转的石英舟碰撞的缺陷而提出的，本实用新型通过在喷管的底部加入一限位的装置，当喷管内移时该限位的装置会被喷管支承圈挡住，从而有效阻止喷管的内移。

一种外气空调箱热盘管加湿增焓节能装置，含热盘管，包括：一组或多组管路，一只或多只喷头，出水口，上述一组或多组管路设置于热盘管进风侧上方，上述一只或多只喷头设置于上述管路上，上述出水口设置于上述热盘管底部；上述喷头喷出的水使上述热盘管全面...

本发明涉及一种用于光阻涂布机台的机械手臂固定块，该固定块的内壁为圆台形通孔，用于容纳管线；该固定块设置于机械手臂的中部，且其纵向轴线与机械手臂的纵向轴线呈斜角相交。采用本发明的结构及固定方式可以克服现有技术中因管线折损所产生的粉尘。

本实用新型提供了一种高架地板的窗口结构，该窗口结构设置在高架地板的开口中，上述高架地板的开口下方有支撑上述窗口结构的支撑架，上述窗口结构包括透明板，透明板下方的开有一个或多个开孔的底板，以及透明板和底板周围的边框，上述窗口结构的一端与高...

本发明涉及半导体制造工艺技术领域，且特别涉及一种改低压化学气相沉积设备中粒子污染的方法。本发明的改善低压化学气相沉积设备中粒子污染的方法，在沉积工艺完成后，将晶舟从反应管中取出，改变反应管内的温度，使反应管表面比较脆弱的薄膜因温度冲击而...

本发明提供一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构，针对现有技术探测准确度低，调整困难等问题而发明，包括机台、红外传感装置及一可移动的暗盒，红外传感装置采用对射式传感装置，包括对应设置的红外发射机与红外接收机；红外发射机、红外接收机与机台...

本实用新型提供一种多接头的呼吸转换基座，针对现有结构连接不稳固，使用成本较高，且改装复杂等问题而设计，本实用新型提供一种多接头的呼吸转换基座，包括主体，主体内部有沿管路方向设置的空腔，以及多个与空腔连通的呼吸接头上述呼吸接头与呼吸面罩连...

本实用新型提供一种用于反应室的集气罩，包括中空的外罩、中空的内罩和至少一个抽气把手，上述外罩的直径大于内罩，并使内罩安装于外罩内部时，两罩体的侧壁之间形成一个基本上为环形的空腔体，上述空腔体的上口和下口分别密封，内罩的侧壁上设有若干开放...