一种负压封闭式取样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种负压封闭式取样装置，包括：产生负压的负压发生器；吸收尾气的尾气吸收室，通过可拆卸的负压管连接负压发生器；放置取样容器的取样室，通过可拆卸的尾气管连接尾气吸收室，通过可拆卸的取样管连接样品源，通过可拆卸的进气管进入常压气体，上述进气管和／或负压管和／或尾气管和／或取样管上带有一个或一个以上的调节阀。本实用新型专利技术的有益效果是：仅取样管伸入原料容器内，减少原料被污染的可能性；取样容器置于封闭的取样室中，避免污染；尾气吸收室收集化学品原料挥发的蒸汽，避免扩散造成危害。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种取样装置，特别是一种负压封闭式取样装置。
技术介绍
随着半导体工艺制程的日益先进，晶片制造过程中所使用的电子级化 学品原料对洁净度要求越^5越高，而这些化学品原料本身往往对人体具有 危害性，因此在分析化学品原料的取样时，既需避免对化学品原料和样品 造成污染，又须注意危险化学品的泄漏和扩散，故在取样工具上须力求洁 净与安全要求。
技术实现思路
本技术的目的是为了方便对化学品原料及酸槽等的提取，在保护 样品不受污染，工作人员不会受到样品的侵害的同时使得取样工具易于可 以达到洁净和安全的要求。鉴于上述目的，本技术提供了一种负压封闭式取样装置，包括产生负压的负压发生器；吸收尾气的尾气吸收室，通过可拆卸的负压管连接负压发生器；放置取样容器的取样室，通过可拆卸的尾气管连接尾气吸收室，通过 可拆卸的取样管连接样品源，通过可拆卸的进气管进入常压气体，上述进 气管和/或负压管和/或尾气管和/或取样管上带有一个或一个以上的调节阀。作为优选，上述负压发生器连接可拆卸的压力管的一端，从压力管通入气体。作为优选，上述尾气吸收室连接可拆卸的水洗管，通过水洗管通入清 洗用液体。作为优选，上述尾气吸收室中带有预定体积的清洗用液体，水洗管插 入尾气吸收室内的一端的端口为漏斗状，该端口处设有化学滤网，并浸入 尾气吸收室内的清洗用液体中。作为优选，上述取样室和上述尾气吸收室分别带有可开启的窗状结构。作为优选，上述取样室和上述尾气吸收室的下部分别具有排出管和排 出管上的排出阀。作为优选，上述清洗用液体为去离子水。作为优选，上述取样室和上述尾气接收室安装有测定内部压力的量表。作为优选，上述取样室内有搁置取样容器的平台。本技术的有益效果是仅取样管伸入原料容器内，减少原料被污 染的可能性；取样容器置于封闭的取样室中，避免污染；尾气吸收室收集 化学品原料挥发的蒸汽，避免扩散造成危害。附图说明图1是本技术一较佳实施例的负压封闭式取样装置。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步地介绍，但不作为 对本技术的限定。本技术一较佳实施例的负压封闭式取样装置如图l所示，该装置 包括负压发生器10，在此实施例中，其包括文丘里(Ventury)真空产生器 ll和相关管路，该装置的主要流程为文丘里真空产生器11提供负压， 使与之相连逦的取样室30内外形成压差，从而将取样的液体吸入封闭的 取样室30中收集。为防止化学品原料蒸汽扩散造成危害，在文丘里真空产生器11与取样室30之间连通一尾气吸收室20，以去离子水(DI water)24来溶解吸收蒸汽。本技术一较佳实施例的负压封闭式取样装置具体包括以下装置， 首先是文丘里真空产生器11，其上带有压力调节管和压力调节阀41，在 需要文丘里真空产生器11产生负压时，压力调节阀41开启，文丘里真空 产生器ll产生负压，使相连的尾气吸收室20内外有压力差；在文丘里真 空产生器11不需要产生负压时，压力调节阀41关闭，尾气吸收室呈正压。尾气吸收室20为气密式的，包括外壳，外壳上开有带锁的窗31，以 便于通过打开窗31来整理、擦拭、调整尾气吸收室20。尾气吸收室20 与文丘里真空产生器11通过管道连接，从而在文丘里真空产生器11产生 负压时，尾气吸收室20也呈现负压状态。尾气吸收室20可以连接可拆卸 的水洗管22和水洗阀43,以便根据需要通入吸收蒸汽的清洗用液体22， 例如去离子水，状尾气吸收室20可以将利用水洗管清洗用液体22装入预 定的标记位置，水洗管22的下方插入清洗用液体22中，水洗管22的下 方端口为漏斗状，以防止倒抽，端口处设有化学滤网23，使清洗用液体 22能够充分吸收化学品挥发的蒸汽。尾气吸收室20还可以连接量表51 ， 测量内部压力。尾气吸收室20的下部具有排出管和排出管上的排出阀47， 用以排出清洗用液体。取样室30为气密室的，包括外壳37，内部含有安置取样容器36的平 板38,开有带锁的窗32，以便于取出取样容器36，清洁取样室30连接带 有控水阀44的控水管，以便根据需要通入吸收蒸汽的清洗用液体22，例 如去离子水；清洁取样室30连接带有取样阀46的取样管，用以使样品流 入取样容器36中；清洁取样室30连接带有调节阀42的调节管，用以使 取样室30根据需要通入气体，变为正压；清洁取样室30连接带有尾气阀 45的尾气管，用以使取样室30根据需要变为负压，使尾气流入尾气吸收 室20。在本实施例中，尾气管与调节管在取样室30的一端连接一体。上 述取样室30还可以连接量表52，测量内部压力。取样室30的下部也具有 排出管和排出管上的排出阀48，用以排出清洗用液体。本技术一较佳实施例的负压封闭式取样装置的使用过程包括以 下步骤，这些步骤仅为示例性表示，所属
的技术人员根据以上的 装置说明可以得出多种不同的实施方法。步骤1、取样前，将负压封闭式取样装置通过压力调节管外接气体源，例如使压力为10~20 psi压縮干燥空气或N2气体源，通过控水管通入去离子水。步骤2、取样时，首先开启控水阀43对尾气吸收室20进行补水至标 订液位后关闭控水阀43。步骤3、开启压力阀41，使文丘里真空产生器11产生负压，因而使 与之相连通的尾气吸收室20内外形成压差。步骤4、开启调节阀42，保持取样室30正压，而后开启取样室30的 窗32，将干净的取样容器36置于取样管出口下方，容器的入口基本对准 取样管的出口。步骤5、关闭取样室30的窗32后关闭调节阀42。步骤6、开启尾气阔45,文丘里真空产生器11与尾气吸收室20通过 管道连接，而尾气吸收室20与取样室30通过带有尾气阀45的尾气管连 接，所以取样室30同呈负压状态。步骤7、将洗净的取样管插入待取样容器，开启取样管的取样阀46 即可取样。步骤8、目视取样容器中样品的液位至适当液位(一般为90%)后关闭 取样阀46。步骤9、关闭尾气阀45，开启调节阀42，使气体从调节管中进入取样 室30，使取样室30达到正压状态。步骤IO、开启取样室30的窗32，将取样容器36盖上上盖后取出取 样容器36，并盖紧瓶盖。步骤ll、取样容器36以样品化学品进行洗瓶，而后倒至废液收集槽或桶。步骤12、重复程序步骤4 步骤11三次，取得真实样品。步骤13、取样完毕后，从取样室30中取出取样容器36，取一量杯替 换取样容器36，置于取样容器36的原位置，重复步骤4 步骤7，将取样 管内的化学品抽干。步骤14、将取样管拆下，进行洗净后置于干净的容器中，例如塑料袋 中保存。步骤15、开启调节阀42，取样室30通入气体，恢复至正常压力状态， 开启取样室30的窗32取出量杯，将废液倒至废液收集槽或桶。步骤16、开启尾气阀45，关闭压力阀41，使得尾气吸收室20通入气 体，呈正压状态。步骤17、开启排出阀48将尾气吸收室20内的废水排放后关闭。步骤18、开启水洗阀43对尾气吸收室重新进行补入去离子水，至标 订液位后关闭水洗阀43。步骤19、重复步骤17 步骤18步骤三次，而后将尾气吸收室20内 的去离子水放空。步骤20、开启控水阀44通入去离子水，将取样室20用去离子水洗净， 而后开启排出阀47，将取样室20内的废水排放后分别关闭控水阀44及本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种负压封闭式取样装置，其特征在于包括：产生负压的负压发生器；吸收尾气的尾气吸收室，通过可拆卸的负压管连接负压发生器；放置取样容器的取样室，通过可拆卸的尾气管连接尾气吸收室，通过可拆卸的取样管连接样品源，通过可拆卸的进气管进入常压气体，上述进气管和／或负压管和／或尾气管和／或取样管上带有一个或一个以上的调节阀。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周仁东，陈达义，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]