带有行程限位机构的显微镜制造技术

技术编号:2694643 阅读:164 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术提供一种带有行程限位机构的显微镜,包括载物台[3]、目镜[1]、底座[6]、钝角折形挡板[8]和条形连接块[9],钝角折形挡板[8]呈“*”形,条形连接块[9]固定在底座[6]上,挡板[8]的倾斜段开有导槽,以可活动连接方式安装在条形连接块[9]上。挡板[8]的上下位置可以调节,根据具体显微镜载物台的行程限位要求,设定好挡板8的位置后,通过锁紧螺栓将挡板的倾斜段与条形连接块[9]相固定,挡板水平段的下表面与载物台[3]的上表面相对。这样,通过增设挡板组合件对显微镜载物台的行程进行限位,可有效防止观察晶圆图形时刮伤晶圆。(*该技术在2016年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
带有行程限位机构的显微镜,包括载物台、目镜和底座,其特征在于:该显微镜设有对载物台的上下行程起限位作用的机构,所述限位机构包括一块挡板[8],挡板[8]的形状呈钝角折形,钝角折形的倾斜段与底座连接,水平段高于显微镜载物台,水平段的下表面与载物台的上表面相对。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:薛伟黄伟陈耀胡珂
申请(专利权)人:和舰科技苏州有限公司
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]

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