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杭州士兰集成电路有限公司专利技术
杭州士兰集成电路有限公司共有333项专利
一种半导体光敏器件制造技术
一种半导体光敏器件,包括:半导体层;光敏区场氧化层,暴露出至少部分的光敏区;减反射层,覆盖光敏区、场氧化层的表面和侧壁;刻蚀停止层,位于减反射层上,暴露出减反射层位于光敏区上方的至少部分,刻蚀停止层包括第一部分和围绕第一部分的第二部分,...
一种半导体光敏器件制造技术
本申请公开了一种半导体光敏器件,包括:半导体层;光敏区,暴露于所述半导体层的第一表面;场氧化层,位于所述半导体层的第一表面,且暴露出至少部分的所述光敏区;减反射层,位于所述半导体层的第一表面,覆盖所述光敏区、所述场氧化层的表面和侧壁;刻...
一种半导体晶圆以及管芯制造技术
公开了一种半导体晶圆以及管芯,半导体晶圆包括多个管芯,每个管芯包括:第一腔体;功能单元,位于第一腔体内;电极结构,位于第一腔体外并且通过布线与功能单元连接;开口,暴露出电极结构;以及键合结构;其中,键合结构包括:第一部分,第一部分为环状...
二极管制造技术
本实用新型提供了一种二极管,包括:基底,所述基底中形成有多个沟槽;多晶硅层,填充于所述沟槽中;离子掺杂区,位于所述多晶硅层和所述基底中,且所述基底中的离子掺杂区随形包围所述多晶硅层,各个所述沟槽的顶部之间的离子掺杂区相互连接;所述离子掺...
一种半导体晶圆制造技术
公开了一种半导体晶圆,包括多个管芯,每个管芯包括:密封腔体;功能单元,位于密封腔体内;电极结构,位于密封腔体外并且通过布线与功能单元连接;以及开口,暴露出电极结构;在第一方向以及与第一方向垂直的第二方向上,多个管芯均呈直线阵列排布,在第...
快恢复二极管制造技术
公开了一种快恢复二极管,包括:衬底,衬底具有第一掺杂类型;位于衬底上的外延层,外延层具有第一掺杂类型;位于外延层中的彼此隔离的第一阱区、第二阱区以及第三阱区,第一阱区、第二阱区以及第三阱区从外延层的表面向衬底的方向延伸,第一阱区和第二阱...
半导体结构及集成电路制造技术
公开了一种半导体结构及集成电路,半导体结构包括衬底,衬底具有第一掺杂类型;位于衬底上的外延层,外延层具有第一掺杂类型;位于外延层中的基区以及发射区,发射区与基区接触,发射区具有第一掺杂类型,基区具有第二掺杂类型,第一掺杂类型和第二掺杂类...
半导体器件制造技术
公开了一种半导体器件,包括:衬底,具有相对的第一表面和第二表面;外延层,位于所述衬底上;金属结构,贯穿所述外延层并延伸至所述衬底内;其中,所述金属结构包括阵列排列的沟槽单元,每个所述沟槽单元的形状相同,所述沟槽单元之间的外延层的形状相同...
半导体器件及其制造方法技术
公开了一种半导体器件及其制造方法,该半导体器件包括:碳化硅衬底,具有第一掺杂类型;位于碳化硅衬底上的外延层,具有第一掺杂类型;位于外延层中的掺杂柱区,具有第二掺杂类型,第一掺杂类型和第二掺杂类型相反;其中,掺杂柱区通过沿选定的晶向方向进...
半导体器件及其制造方法技术
公开了一种半导体器件及其制造方法,该半导体器件包括:碳化硅衬底,所述碳化硅衬底具有第一掺杂类型;位于碳化硅衬底上的外延层,所述外延层具有第一掺杂类型;位于所述外延层中的掺杂柱区,所述掺杂柱区具有第二掺杂类型,所述第一掺杂类型和所述第二掺...
晶体管及其制作方法技术
本申请公开了一种晶体管及其制作方法,所述晶体管包括:外延结构;具有衬底以及位于所述衬底表面上的外延层,所述外延层包括依次形成在所述衬底上的成核层、缓冲层、沟道层、插入层、势垒层、间隔层、非故意掺杂层以及P型层;在平行于所述外延层的方向上...
一种碳化硅VDMOS器件及其制备方法技术
公开了一种碳化硅VDMOS器件及其制备方法,包括:衬底,具有第一掺杂类型;外延层,具有第一掺杂类型,位于所述衬底上;体区,具有第二掺杂类型,位于所述外延层中,所述第一掺杂类型和所述第二掺杂类型相反;源区,具有第一掺杂类型,位于所述体区内...
瞬间电压抑制器件制造技术
公开了一种瞬间电压抑制器件,包括:半导体衬底;第一埋层,位于半导体衬底上;第一外延层,位于第一埋层上;多个隔离结构,贯穿第一外延层并延伸至半导体衬底中,多个隔离结构将瞬间电压抑制器在横向方向上分为多个区域,多个区域包括稳压区域和至少一组...
二极管制造技术
公开了一种二极管,包括:衬底,所述衬底具有第一掺杂类型;位于衬底上的外延层,所述外延层具有第一掺杂类型;位于所述外延层表面的第一掺杂区,所述第一掺杂区具有第二掺杂类型,所述第一掺杂类型和所述第二掺杂类型的极性相反;位于外延层上的介质层;...
半导体结构及其制造方法、集成电路及其制造方法技术
公开了一种半导体结构及其制造方法、集成电路及其制造方法,半导体结构包括:衬底,衬底具有第一掺杂类型;位于衬底上的外延层,外延层具有第二掺杂类型,第一掺杂类型和第二掺杂类型相反;位于外延层中的基区、发射区以及集电区,其中,基区和集电区彼此...
双向瞬态电压抑制保护器件及其制造方法技术
本发明提供了一种双向瞬态电压抑制保护器件及其制造方法,所述双向瞬态电压抑制保护器件包括:衬底,具有第一导电类型;外延层,位于所述衬底上,所述外延层具有第二导电类型;MOS晶体管,包含栅极结构、源极区和漏极区,所述栅极结构位于所述外延层上...
瞬态电压抑制保护器件制造技术
本实用新型提供了一种瞬态电压抑制保护器件,包括:衬底,具有第一导电类型;外延层,形成于衬底上,外延层具有第二导电类型,外延层与衬底构成二极管;第一重掺杂区,形成于衬底的底部,第一重掺杂区具有第二导电类型,使得第一重掺杂区、衬底与外延层构...
瞬间电压抑制器件及其制造方法技术
公开了一种瞬间电压抑制器件及其制造方法,包括:半导体衬底;位于半导体衬底上的隔离层和外延层;多个隔离结构,贯穿外延层并延伸至隔离层中,将器件在横向方向上分为第一区域、第二区域和第三区域;多个第一沟槽结构,位于第一区域和第三区域中,贯穿外...
一种惯性传感器及其制备方法技术
公开了一种惯性传感器及其制备方法,方法包括:在第一衬底上形成第一介质层以及第一导电层;在第一导电层中形成第一开口以暴露出部分第一介质层的表面;在第一导电层上形成保护层,保护层覆盖部分第一导电层、第一开口的侧壁及第一开口暴露的第一介质层的...
VDMOS管芯的单脉冲雪崩击穿能量的测量电路制造技术
公开了一种VDMOS管芯的单脉冲雪崩击穿能量的测量电路,包括:从第一测试端到第二测试端依次连接的直流电源和储能元件;第一VDMOS管芯,第一VDMOS管芯连接于储能元件和第二测试端之间;第二VDMOS管芯,第二VDMOS管芯的源极和漏极...
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