空气过滤器用滤材、空气过滤器单元以及空气过滤器用滤材的制造方法技术

捕集气流中的尘埃的空气过滤器单元用滤材包括：预捕集层，其捕集气流中的尘埃的一部分；主捕集层，其相对于所述预捕集层配置在气流的下游侧，由聚四氟乙烯多孔膜构成，捕集已通过所述预捕集层的尘埃；以及通气性覆盖层，其配置在气流的上游侧的最表层的位置，使气流中的尘埃通过，并抑制所述空气过滤器用滤材的表面相对于来自外部的按压而变形。在制造滤材时，将作为所述通气性支撑层的部件和作为所述主捕集层的薄膜进行层叠而得到第1层叠体，另外，将作为所述通气性覆盖层的部件和作为所述预捕集层的部件进行层叠而得到第2层叠体。以使所述第1层叠体的所述主捕集层和所述第2层叠体的所述预捕集层位于内侧的方式进行层叠。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】捕集气流中的尘埃的空气过滤器单元用滤材包括：预捕集层，其捕集气流中的尘埃的一部分；主捕集层，其相对于所述预捕集层配置在气流的下游侧，由聚四氟乙烯多孔膜构成，捕集已通过所述预捕集层的尘埃；以及通气性覆盖层，其配置在气流的上游侧的最表层的位置，使气流中的尘埃通过，并抑制所述空气过滤器用滤材的表面相对于来自外部的按压而变形。在制造滤材时，将作为所述通气性支撑层的部件和作为所述主捕集层的薄膜进行层叠而得到第1层叠体，另外，将作为所述通气性覆盖层的部件和作为所述预捕集层的部件进行层叠而得到第2层叠体。以使所述第1层叠体的所述主捕集层和所述第2层叠体的所述预捕集层位于内侧的方式进行层叠。【专利说明】
本专利技术涉及捕集气流中的尘埃的空气过滤器用滤材、空气过滤器单元、以及空气过滤器用滤材的制造方法。
技术介绍
半导体装置和液晶显示装置的制造是在高清洁空间中进行的。例如，使用由聚四氟乙烯(下面称为PTFE)构成的多孔膜(下面称为PTFE多孔膜)作为集尘过滤器，以便得到这种高清洁空间。PTFE多孔膜与玻璃纤维制滤材相比，在按照相同的压力损失进行比较时，尘埃的捕集效率高，因而特别适合用于HEPA过滤器(High Efficiency Particulate AirFilter:高效空气过滤器)和ULPA过滤器(Ultra Low Penetration Air Filter:超高效空气过滤器)。另一方面，PTFE多孔膜与过去使用的玻璃纤维滤材相比，纤维构造较密，因尘埃导致的网眼堵塞较快，在如外部空气处理单元那样在尘埃的捕集负荷较大的环境下使用的情况下，空气过滤器单元的压力损失在短时间内就增大。针对上述问题，公知有能够防止因捕获的尘埃而导致的网眼堵塞、并抑制压力损失的增大的空气过滤器用滤材(专利文献I)。该空气过滤器用滤材包括PTFE多孔质膜和纤维制通气性多孔部件，所述纤维制通气性多孔部件配置在所述多孔质膜的气体流的上游侦牝所述纤维制通气性多孔部件的纤维直径在I?15 μ m的范围，其气孔率在70%以上，其单位面积重量为60g/m2以上。另外，还公知有一种叶轮机用吸气过滤器滤材，其作为过滤器用滤材能够抑制压力损失的增大(专利文献2)。该滤材包括聚四氟乙烯多孔质膜和通气性支撑部件，所述通气性支撑部件的纤维直径在0.2μπι以上、15μπι以下的范围。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2000 - 300921号公报专利文献2:日本特开2002 - 370009号公报专利技术概要专利技术要解决的问题但是，上述公知的滤材虽然在滤材的特性方面能够抑制压力损失的增大，但是在用于空气过滤器单元时，存在不一定能够按照预期抑制空气过滤器单元的压力损失的情况。具体地讲，在空气过滤器单元中使用的滤材具有经过皱褶加工呈峰折、谷折折叠而形成的锯齿形状，因而除了滤材自身的压力损失外，也被施加了起因于空气过滤器单元的构造的压力损失(构造阻力)，难以降低空气过滤器单元的压力损失。另外，在上述公知的滤材中，通气性支撑部件的纤维直径为0.2μπι以上、15μπι以下的滤材，其纤维直径的范围较广，在该范围中纤维直径较小的区域中，通气性支撑部件内的纤维成为较密的构造，存在通气性支撑部件的压力损失上升的情况。另外，在上述公知的滤材中纤维直径为I?15 μ m的纤维制通气性多孔部件中，在纤维直径较大的区域中，为了得到尘埃的捕集效率，有时需要增大纤维制通气性多孔部件的厚度及单位面积重量。如果使用这种滤材制作空气过滤器单元，将不能降低压力损失。因此，本专利技术的目的在于，提供一种空气过滤器用滤材和使用该滤材的空气过滤器单元、以及滤材的制造方法，能够抑制空气过滤器单元中的压力损失，并抑制起因于空气过滤器单元的构造的压力损失。用于解决问题的手段本专利技术的一个方式是捕集气流中的尘埃的空气过滤器用滤材。该空气过滤器用滤材包括:预捕集层，其捕集气流中的尘埃的一部分；主捕集层，其相对于所述预捕集层配置在气流的下游侧，由聚四氟乙烯多孔膜构成，捕集已通过所述预捕集层的尘埃；以及通气性覆盖层，其配置在气流的上游侧的最表层的位置，使气流中的尘埃通过，并抑制所述空气过滤器用滤材的表面相对于来自外部的按压而变形。本专利技术的另一个方式是空气过滤器单元。 所述空气过滤器单元具有:锯齿形状的已加工好的滤材，其是通过对所述空气过滤器用滤材进行皱褶加工而得到的；形状保持部，其配置在所述已加工好的滤材的峰部或者谷部，以便保持所述已加工好的滤材的锯齿形状；以及框体，其对保持着锯齿形状的所述已加工好的滤材进行保持。本专利技术的又一个方式是所述空气过滤器用滤材的制造方法。该方法包括以下工序:将作为所述通气性支撑层的部件和作为所述主捕集层的部件进行层叠而得到第I层置体；将作为所述通气性覆盖层的部件和作为所述预捕集层的部件进行层叠而得到第2层叠体；以及以使所述第I层叠体的作为所述主捕集层的部件和所述第2层叠体的作为所述预捕集层的部件位于内侧的方式进行层叠。专利技术效果根据上述的空气过滤器用滤材和使用该滤材的空气过滤器单元、以及该滤材的制造方法，能够抑制起因于空气过滤器单元的构造的压力损失，能够提供在空气过滤器单元中抑制了压力损失的空气过滤器单元。另外，上述空气过滤器单元在主捕集层使用PTFE多孔膜时，也具有与过去使用的玻璃纤维滤材大致相同的寿命。【专利附图】【附图说明】图1的(a)、(b)是说明使用本实施方式的空气过滤器用滤材的本实施方式的空气过滤器单元的结构的图。图2是表示在本实施方式的空气过滤器单元中使用的滤材的层结构的剖面图。图3的(a)是说明本实施方式的滤材与形状保持部件的接触的图，(b)是说明过去的滤材与形状保持部件的接触的图。图4是表示本实施方式的变形例I的滤材的层结构的剖面图。图5的(a)是说明在本实施方式的变形例2的过滤组合件的滤材设置的间隔件的配置的图，(b)是(a)中的滤材和间隔件的剖面图。图6是说明本实施方式的变形例3的滤材的立体图。图7是本实施方式的变形例3的滤材的展开图。【具体实施方式】下面，详细说明本专利技术的空气过滤器用滤材和使用该滤材的空气过滤器单元、以及该滤材的制造方法。图1的(a)、(b)是说明使用本实施方式的空气过滤器用滤材的本实施方式的空气过滤器单元的结构概要的图。在图1 (a)中示出了空气过滤器单元使用的过滤组合件的立体图。空气过滤组合件具有空气过滤器用滤材(下面简称为滤材)10和形状保持部件12。滤材10是通过对片状的滤材进行皱褶加工，并以形成峰部、谷部的方式进行峰折、谷折而得到的锯齿形状的已加工好的滤材。形状保持部件12是被插入所述已加工好的滤材的各谷部的隔离件，以便保持所述已加工好的滤材的锯齿形状。图1 (a)所示的形状保持部件12通过对薄板进行波纹加工而成为波形状，被配置在所述已加工好的滤材的谷部。由此，滤材10保持锯齿形状。在锯齿形状的已加工好的滤材中，相邻的峰折的顶部彼此间或者谷折的底部彼此间的间隔D例如是5?10mm，实现已加工好的空气过滤组合件的每IOOmm宽(图1 (a)中的X方向的长度)的皱褶数量(峰折或者谷折的数量)为10?20个。在图1 (b)中示出了空气过滤器单元15的立体图。在图中示出了省略空气过滤器单元15的顶面，使得能够观察到位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：原聪，包理，乾邦彦，山本诚吾，涉谷吉之，小林诚，新沼仁，
申请(专利权)人：大金工业株式会社，
类型：
国别省市：