一种软板用显影、蚀刻连退膜设备制造技术

本发明专利技术属于显影、蚀刻连退膜设备技术领域，尤其涉及一种应用在各种软性电路板、薄膜太阳能板等产品的软板生产过程中的软板用显影、蚀刻及退膜设备，包括显影机构、蚀刻机构、退膜机构、清洗机构、干板机构、送料机构、收料机构。相对于现有技术，本发明专利技术由卷出送料机构输出的软板进行连续夹送，经过显影机构、蚀刻机构、退膜机构、清洗机构、干板机构，以完成连续显影、蚀刻、退膜作业，再由卷入收料机构卷收烘干后软板，从而达到软板显影、蚀刻、退膜作业的自动化、高速化和量产化，大大提高生产效率，降低加工成本。并且，本发明专利技术可避免薄软板在加工过程中的拆皱、堵板、卡板等现象的出现。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术属于显影、蚀刻连退膜设备
，尤其涉及一种应用在各种软性电路板、薄膜太阳能板等产品的软板生产过程中的软板用显影、蚀刻及退膜设备，包括显影机构、蚀刻机构、退膜机构、清洗机构、干板机构、送料机构、收料机构。相对于现有技术，本专利技术由卷出送料机构输出的软板进行连续夹送，经过显影机构、蚀刻机构、退膜机构、清洗机构、干板机构，以完成连续显影、蚀刻、退膜作业，再由卷入收料机构卷收烘干后软板，从而达到软板显影、蚀刻、退膜作业的自动化、高速化和量产化，大大提高生产效率，降低加工成本。并且，本专利技术可避免薄软板在加工过程中的拆皱、堵板、卡板等现象的出现。【专利说明】一种软板用显影、蚀刻连退膜设备
本专利技术属于显影、蚀刻连退膜设备
，尤其涉及一种应用在各种软性电路板、薄膜太阳能板等产品的软板生产过程中的软板用显影、蚀刻及退膜设备。
技术介绍
已知软性电路板、薄膜太阳能板等产品的软板，必须经过多种前置的电镀作业、菲林、曝光、显影、蚀刻、退膜才能使软板成为电路板、薄膜太阳能板的构件。已知的显影、蚀亥|J、退膜设备是包括依次连接的显影、蚀刻和退膜段落，各段落均设有药水处理缸，于各处理缸中盛装所需的化学药剂，例如氯化钠、盐酸、氯化铜、氢氧化钠和抗氧化剂等等，并且于各个药水处理缸上方设有输送装置，由输送装置带动已裁切成单片的软板连续输送经过显影段、蚀刻段、退膜段、水洗段及干板段，进而完成显影、蚀刻连退膜作业。随着HDI手机板、4G手机板的出现，线路板行业对软板的要求越来越高，软板也越做越薄。目前，最薄的软板厚度发展到0.035mm，最小线宽线距在1.5-2.0mil之间。由于软板是裁切成单片生产的，因此软板太薄会导致拆皱角、堵板和卡板等困扰。因此目前的设备对于高要求、厚度为0.035mm软板原料而言，完全不能适用，若要勉强应用已知的显影、蚀刻连退膜设备实施作业，则必需先将每片薄板加一引导板，如此也将导致生产效率缓慢、增加企业生产成本。
技术实现思路
本专利技术肥的目的在于:针对现有技术的不足，而提供一种软板用显影、蚀刻及退膜设备，以使软板可避免拆皱角、堵板、卡板等困扰，进而达到软板显影、蚀刻连退膜作业的自动化、高速化、量产化，并降低成本。为了达到上述目的，本专利技术采用如下技术方案: 一种软板用显影、蚀刻及退膜设备，包括显影机构、蚀刻机构、退膜机构、清洗机构、干板机构、送料机构、收料机构； 所述显影机构，其设置在所述设备的入口端，其包含有第一药水缸、第一摇摆架喷淋设备、传送软板的第一软包胶辘输送装置及设置在所述第一药水缸中的除泡沫装置； 所述蚀刻机构，其设置在所述显影机构后，且位于所述清洗机构的出口端，其包含有第二药水缸、第二摇摆架喷淋设备、传送软板的第二软包胶辘输送装置及设置在所述第二摇摆架喷淋设备的喷嘴两旁的真空水刀装置； 所述退膜机构，其设置在所述蚀刻机构后，且位于所述清洗机构的出口端，其包含有第三药水缸、第一喷管喷淋设备、传送软板的第三软包胶辘输送装置及设置在所述第三药水缸上面的滚筒收膜渣装置； 所述清洗机构，其设置在所述显影机构、所述蚀刻机构、所述退膜机构的出口端，其包含有水洗缸、第二喷管喷淋设备、传送软板的第四软包胶辘输送装置； 所述干板机构，其设置在所述退膜机构后，且位于所述清洗机构的出口端，其包含有强风组合、热合组合及过滤风箱装置； 所述送料机构，其设置在所述显影机构的入口端； 所述收料机构，其设置在所述干板机构的出口端。作为本专利技术软板用显影、蚀刻及退膜设备的一种改进，所述送料机构包括第一机体，所述第一机体上设置有第一放料轴、第二放料轴和两个第一张力前后轴，由所述第一放料轴或所述第二放料轴送出连续的软板，软板经过第一张力前后轴后被所述送料机构的传动系统卷出并进行输送。作为本专利技术软板用显影、蚀刻及退膜设备的一种改进，两个所述第一张力前后轴间设有第一张力检知轮轴，所述第一张力前后轴上设有压制软板的第一张力轴。作为本专利技术软板用显影、蚀刻及退膜设备的一种改进，所述第一机体上设置有卷收软板保护膜的收膜轴。作为本专利技术软板用显影、蚀刻及退膜设备的一种改进，所述收料机构包括第二机体，所述第二机体上设置有第三收料轴、第四收料轴及两个第二张力前后轴，所述第三收料轴或所述第四收料轴卷收被输送系统卷出并已加工好的软板。作为本专利技术软板用显影、蚀刻及退膜设备的一种改进，两个所述第二张力前轴间设有第二张力检知轮轴，所述第二张力前后轴设有压制软板的第二张力轴。相对于现有技术，本专利技术由卷出送料机构输出的软板进行连续夹送，经过显影机构、蚀刻机构、退膜机构、清洗机构、干板机构，以完成连续显影、蚀刻、退膜作业，再由卷入收料机构卷收烘干后软板，从而达到软板显影、蚀刻、退膜作业的自动化、高速化和量产化，大大提高生产效率,降低加工成本。并且,本专利技术可避免薄软板在加工过程中的拆皱、堵板、卡板等现象的出现。【专利附图】【附图说明】图1为本专利技术的结构示意图。图2为本专利技术送料机构的正面图。图3为本专利技术收料机构的正面图。图4为本专利技术显影机构的侧视图。图5为本专利技术蚀刻机构的侧视图。图6为本专利技术退膜机构的侧视图。图7为本专利技术清洗机构的侧视图。图8为本专利技术干板机构的侧视图。【具体实施方式】下面结合【具体实施方式】和附图，对本专利技术进行进一步详细的描述，但是本专利技术的实施方式并不限于此。如图1所示，本专利技术提供的一种软板用显影、蚀刻及退膜设备，包括显影机构2、蚀刻机构3、退膜机构4、清洗机构5、干板机构6、送料机构1、收料机构7，用于进行软板的送料、显影、蚀刻、退膜、清洗、烘干及收料等连续制程，其中:显影机构2，如图4所示，其设置在设备的入口端，其包含有第一药水缸22、第一摇摆架喷淋设备25、传送软板的第一软包胶辘输送装置24及设置在第一药水缸22中的除泡沫装置23。蚀刻机构3，如图5所示，其设置在显影机构2后，且位于清洗机构5的出口端，其包含有第二药水缸26、第二摇摆架喷淋设备27、传送软板的第二软包胶辘输送装置29及设置在第二摇摆架喷淋设备27的喷嘴两旁的真空水刀装置28。退膜机构4，如图6所示，其设置在蚀刻机构3后，且位于清洗机构5的出口端，其包含有第三药水缸32、第一喷管喷淋设备30、传送软板的第三软包胶辘输送装置31及设置在第三药水缸32上面的滚筒收膜渣装置33。清洗机构5，如图7所示，其设置在显影机构2、蚀刻机构3、退膜机构4的出口端，其包含有水洗缸36、第二喷管喷淋设备34、传送软板的第四软包胶辘输送装置35。干板机构6，如图8所示，其设置在退膜机构4后，且位于清洗机构5的出口端，其包含有强风组合38、热合组合40及过滤风箱装置37;如图8所示，清洗机构5与收料机构7之间可设有吹送冷风及(或)热风的干板机构6，通过该干板机构6将被清洗机构5喷洗完成的软板实施风干，再由收料机构7卷收。送料机构1，如图2所示，其设置在显影机构2的入口端；送料机构I包括第一机体，第一机体上设置有第一放料轴8、第二放料轴9和两个第一张力前后轴(10，13)，由第一放料轴8或第二放料轴9送出连续的软板，软板经过第一张力前后轴(10，13)后被送料机构I的传动系统卷出并进行输送，两个第一张力前后轴(10，13)间设有第一张力检知轮轴，第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马国宏，
申请(专利权)人：东莞市宏德电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：