【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种基于面阵CCD的精密定位平台位置检测方法，属于并联精密定位平台的位置检测。在并联精密定位平台的底面上安装三个激光发射装置，按三边距离不等的三角形位置布置。当定位平台移动时，由安装在底座中央的面阵CCD接收上方激光发射装置的光强信息，通过数据采集卡实时的将激光发射装置在面阵CCD上所形成光斑的位置坐标传递给计算机，由计算机计算出定位平台当前的位置坐标x、y及转角θ。优点：能够实时、精确的检测定位平台的位置坐标x、y及转角θ，能够实现二维坐标x、y及转角θ的非接触式测量，弥补了传统测量方法的精度缺陷，能较好地对精密定位平台的位置检测，实施简单，实时性好，性能稳定，精度较高，适用范围广。【专利说明】—种基于面阵CCD的精密定位平台位置检测方法
本专利技术涉及一种并联精密定位平台的位置检测，具体说是涉及一种基于面阵CCD的精密定位平台位置检测方法。
技术介绍
随着当今微纳米技术的高速发展，微操作技术成为精密加工与精密测量、微电子工程、生物工程、航空航天、纳米科学与技术等领域的关键技术之一，在近代尖端工业生产和科学研究中占有极其重要的地位。而作为微操...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨雪锋，路恩，李威，王禹桥，范孟豹，刘玉飞，徐晗，
申请(专利权)人：中国矿业大学，
类型：发明
国别省市：
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