【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种精密定位平台，特别是一种可实现沿X、Y方向的精密定位及绕Z轴的角度精细调整的一体式精密定位平台。
技术介绍
由于目前精密定位平台的传动大多是采用传统的机械结构，因此，不可避免地存在着间隙、摩擦，定位精度也很难提升到亚微米级；近年来，高精度的三自由度定位平台多采用上下两层平台，可以实现亚微米级定位，但其加工复杂，平台的稳定性也不好。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能够达到极高的精度且易于加工的一体式精密定位平台，它是单层三自由度精密定位平台，不仅能达到亚微米级的定位精度，而且整个定位平台本体是单层一体式的，可以由一块材料加工而成。本技术是通过下述技术方案实现的本技术包括运动平台、基座，运动平台与基座之间通过四个三自由度的柔性铰链连接，四个三自由度的柔性铰链对称分布在运动平台的四角；所述运动平台与基座之间的三个凹槽中嵌放有三个压电致动器，压电致动器的一端固定在基座的凹槽中，另一端与运动平台的凹槽接触。本技术的有益效果(1)本技术由于采用了四个对称的柔性铰链，保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度性和高稳定性，并以对称结构提高运动平台移动的直线度；(2)本技术由于采用了三自由度的柔性铰链，不仅使得运动平台能同时提供X、Y方向平移和Z方向旋转，而且使得运动平台和基座都在同一层次上；(3)本技术由于采用压电致动器作为致动器，保证了驱动源的高精度运动输出和快的响应速度。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是图1中三自由度的柔性铰链的结构示意图；图中1-基座2、3、4、5-三自由度的柔性铰链6-运动平台 7、8、9-压电致动器。具体实施方式如...
【技术保护点】
一种一体式精密定位平台，包括运动平台、基座，其特征在于运动平台与基座之间通过四个三自由度的柔性铰链连接，四个三自由度的柔性铰链对称分布在运动平台的四角；所述运动平台与基座之间的三个凹槽中嵌放有三个压电致动器，压电致动器的一端固定在基座的凹槽中，另一端与运动平台的凹槽接触。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张宪民，彭惠青，欧阳高飞，王华，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：实用新型
国别省市：81[中国|广州]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。