一种复合式波前校正器制造技术

本发明专利技术公开了一种复合式波前校正器，可同时校正低阶倾斜波像差和其它高阶波像差。它由倾斜结构、连接结构、变形镜和支撑结构组成。倾斜结构采用了四个微驱动部件对称分布，提供倾斜输出和支撑刚度，其一端固定在刚性底座上，另一端通过柔性铰链与连接结构相连；变形镜整体固定在连接结构的内部；支撑结构一端固定在底座上，另一端支撑在连接结构的底部。使用连接结构将倾斜结构与变形镜连接在一起，使得此结构既可以校正低阶倾斜波像差，又可以通过变形镜校正高阶波像差。与目前波前校正器相比，该发明专利技术结构紧凑，减少了自适应光学系统中的光学反射元件数，降低了系统光能损失，在布局紧凑和光能效率要求较高的自适应光学系统中具有明显优势。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种复合式波前校正器，可同时校正低阶倾斜波像差和其它高阶波像差，其特征在于由底座（1）、倾斜结构、连接结构（5）、变形镜（6）和支撑结构（2）组成，倾斜结构一端固定在底座上，另一端通过柔性铰链（4）与连接结构（5）相连，变形镜（6）整体固定在连接结构（5）内，变形镜（6）镜面的中心与倾斜结构的转动中心重合；支撑结构（2）的一端固定在底座（1）上，另一端支撑在连接结构（5）的底部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：薛丽霞，张小军，官春林，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：