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本发明公开了一种复合式波前校正器，可同时校正低阶倾斜波像差和其它高阶波像差。它由倾斜结构、连接结构、变形镜和支撑结构组成。倾斜结构采用了四个微驱动部件对称分布，提供倾斜输出和支撑刚度，其一端固定在刚性底座上，另一端通过柔性铰链与连接结构相连...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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