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变形镜制造技术

技术编号:9794128 阅读:154 留言:0更新日期:2014-03-21 14:34
本发明专利技术提出一种变形镜,包括:基座,所述基座上具有沿上下方向贯通所述基座的致动通道;压电驱动器,所述压电驱动器安装在所述致动通道内且所述压电驱动器的推进头突出于所述基座的上表面;致动通道封闭片,所述致动通道封闭片与所述基座相连以将所述压电驱动器封闭在所述致动通道内;和镜体,所述镜体与所述压电驱动器的推进头相连。根据本发明专利技术实施例的变形镜,采用压电驱动器提供预紧力,使变形镜产生形变,可以改变能动光学的光学元件面形,并且能够达到较高的调节精度。

【技术实现步骤摘要】
变形镜
本专利技术涉及一种变形镜,可应用于精密传递微小位移,并能用于改变能动光学的光学元件面形。
技术介绍
变形镜,又称变形反射镜,主要运用于各种自适应光学系统之中,作为波前校正器件校正波前误差,在自适应光学系统中起着极其重要的作用,是自适应光学系统中的重要部件之一,变形镜的研究和发展关系到整个自适应光学系统的校正能力和校正精度。变形反射镜是通过改变自己表面面形来补偿波前相位畸变,可分为连续表面形和分立表面两种类型。连续表面变形镜,其优点是可以得到连续的面形,校正精度高,其缺点是面形的变形量比较小。连续表面的变形反射镜又可分为整体致动和分立致动两种。整体致动主要有双压电变形镜和薄模变形镜,其特点是当控制电压作用于某一致动单元时,整个反射镜面都将产生变形,这类变形镜主要用于与曲率波前传感器配合校正波前畸变的低阶模式部分。分立致动变形镜的一个特点是当控制电压作用于一个致动器时,只有该致动器相邻区域产生局部变形。其中致动方向平行于镜面时,致动器作用于反射镜边缘,只能用于校正离焦和像散等特定像差,因此在自适应光学系统里的应用受到了局限。致动方向垂直于镜面的连续表面变形镜可以校正各阶像本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种变形镜,其特征在于,包括:基座,所述基座上具有沿上下方向贯通所述基座的致动通道;压电驱动器,所述压电驱动器安装在所述致动通道内且所述压电驱动器的推进头突出于所述基座的上表面;致动通道封闭片,所述致动通道封闭片与所述基座相连以将所述压电驱动器封闭在所述致动通道内;和镜体,所述镜体与所述压电驱动器的推进头相连。

【技术特征摘要】
2012.12.28 CN 201210586363.91.一种变形镜,其特征在于,包括:基座,所述基座上具有沿上下方向贯通所述基座的致动通道;压电驱动器,所述压电驱动器安装在所述致动通道内且所述压电驱动器的推进头突出于所述基座的上表面;致动通道封闭片,所述致动通道封闭片与所述基座相连以将所述压电驱动器封闭在所述致动通道内;和镜体,所述镜体与所述压电驱动器的推进头相连。2.根据权利要求1所述的变形镜,其特征在于,所述压电驱动器包括...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄磊巩马理闫平柳强张海涛康少男
申请(专利权)人:清华大学
类型:发明
国别省市:

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