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变形镜制造技术
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文档序号:9794128
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本发明提出一种变形镜,包括:基座,所述基座上具有沿上下方向贯通所述基座的致动通道;压电驱动器,所述压电驱动器安装在所述致动通道内且所述压电驱动器的推进头突出于所述基座的上表面;致动通道封闭片,所述致动通道封闭片与所述基座相连以将所述压电驱动...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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