一种激光蚀刻TCO图案的方法技术

技术编号:9962022 阅读:211 留言:0更新日期:2014-04-24 02:21
本发明专利技术提供了一种激光蚀刻TCO图案的方法,包括如下步骤:1)绘制激光蚀刻图形:使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条;2)将步骤1)中的图形导入激光设备;3)将TCO固定在激光设备的工作台上,使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤1)中的图形一样的线条。本发明专利技术具有如下技术效果:蚀刻时间与蚀刻面积成正比关系,蚀刻线条的面积远远小于蚀刻一个面的面积,原来需要蚀刻的面积越大,采用本发明专利技术后节省的时间越多。能够缩短激光蚀刻时间,提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供了一种激光蚀刻TCO图案的方法,包括如下步骤:1)绘制激光蚀刻图形:使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条;2)将步骤1)中的图形导入激光设备;3)将TCO固定在激光设备的工作台上,使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤1)中的图形一样的线条。本专利技术具有如下技术效果:蚀刻时间与蚀刻面积成正比关系,蚀刻线条的面积远远小于蚀刻一个面的面积,原来需要蚀刻的面积越大,采用本专利技术后节省的时间越多。能够缩短激光蚀刻时间,提高生产效率。【专利说明】一种激光蚀刻TCO图案的方法
本专利技术涉及一种激光蚀刻TCO图案的方法,属于激光蚀刻

技术介绍
TCO是Transparent Conductive Oxide的英文缩写,一般是通过磁控派射的方法镀在有机薄膜PET、玻璃(钠钙Na-Ca玻璃)或是硬性塑料(表面做过硬化处理的亚克力板)基板上,一般厚度只有几百埃到几千埃,这种透明导电薄膜具有较低电阻率、高可见光透过率等优良特性。目前透明导电膜分为三种=ZnO基TCO薄膜、多元TCO薄膜、高迁移率TCO薄膜。随着电子产品的多样化及高速发展,TCO薄膜广泛地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光蚀刻TCO图案的方法,其特征在于,包括如下步骤:1)绘制激光蚀刻图形:使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条;2)将步骤1)中的图形导入激光设备;3)将TCO固定在激光设备的工作台上,使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤1)中的图形一样的线条。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:田元生任华进
申请(专利权)人:南京第壹有机光电有限公司
类型:发明
国别省市:

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