一种激光蚀刻TCO图案的方法技术

本发明专利技术提供了一种激光蚀刻TCO图案的方法，包括如下步骤：1）绘制激光蚀刻图形：使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条；2）将步骤1）中的图形导入激光设备；3）将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤1）中的图形一样的线条。本发明专利技术具有如下技术效果：蚀刻时间与蚀刻面积成正比关系，蚀刻线条的面积远远小于蚀刻一个面的面积，原来需要蚀刻的面积越大，采用本发明专利技术后节省的时间越多。能够缩短激光蚀刻时间，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供了一种激光蚀刻TCO图案的方法，包括如下步骤：1）绘制激光蚀刻图形：使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条；2）将步骤1）中的图形导入激光设备；3）将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤1）中的图形一样的线条。本专利技术具有如下技术效果：蚀刻时间与蚀刻面积成正比关系，蚀刻线条的面积远远小于蚀刻一个面的面积，原来需要蚀刻的面积越大，采用本专利技术后节省的时间越多。能够缩短激光蚀刻时间，提高生产效率。【专利说明】一种激光蚀刻TCO图案的方法
本专利技术涉及一种激光蚀刻TCO图案的方法，属于激光蚀刻
。
技术介绍
TCO是Transparent Conductive Oxide的英文缩写，一般是通过磁控派射的方法镀在有机薄膜PET、玻璃(钠钙Na-Ca玻璃)或是硬性塑料(表面做过硬化处理的亚克力板)基板上，一般厚度只有几百埃到几千埃，这种透明导电薄膜具有较低电阻率、高可见光透过率等优良特性。目前透明导电膜分为三种=ZnO基TCO薄膜、多元TCO薄膜、高迁移率TCO薄膜。随着电子产品的多样化及高速发展，TCO薄膜广泛地应用于平板显示、太阳能电池、触膜屏、OLED显示或照明及其他光电器件领域。传统的湿法化学试剂蚀刻加工方式需增加清洗剂，废水处理等占地较大的设备，制作成本高、污染大，如果工艺控制不好还常出现光阻残留等引起产品的缺陷。激光蚀刻TCO已出现多年，而且有很多好处，但一直没被液晶行业、OLED显示或照明等行业推广使用，其中一个主要原因是:设计时继承了湿法蚀刻的设计图案，大部份图案都要被蚀刻掉，导致蚀刻时间很长，效率低下。具个例子:激光光斑直径是0.025mm，激光频率100KHZ，光斑重叠率是2/3，假如需蚀刻面积为I平方米的TCO玻璃，则需要53小时左右，因此没有商业价值。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的不足之处，提供一种激光蚀刻TCO图案的方法。本专利技术的激光蚀刻TCO图案的方法包括如下步骤: O绘制激光蚀刻图形:使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条； 2)此图案不用填充，将步骤I)中的图形导入激光设备；3)将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤I)中的图形一样的单光斑线条。这条激光蚀刻过的线条能断开相邻两边的TC0，起到隔断电流的作用。所述的步骤3)中的线条为单光斑线条。所述的步骤I)中绘图时，以被断开的TCO线条为基础，在一边再画一条线条，线条间距大概为光斑直径的1/3，所述的步骤3)中的线条为双光斑线条。所述的步骤I)中绘图时，以被断开的TCO线条为基础，在两边各画一条线条，线条间距大概为光斑直径的1/3，所述的步骤3)中的线条为三光斑线条。所述的绘图软件为AUTO CAD、CORELDRAW或CAM。如图1a和图1b标识(2)的地方是需要想要的通电的地方，标识(I)为不需要通电的地方。传统激光蚀刻方法是把标识(I)上所有的TCO均使用激光蚀刻掉，需要花很多的时间去蚀刻。而本专利技术是只需沿图2a和图2b中的线条蚀刻一圈即可，可节省大量的时间。本专利技术具有如下技术效果:蚀刻时间与蚀刻面积成正比关系，蚀刻线条的面积远远小于蚀刻一个面的面积，原来需要蚀刻的面积越大，采用本专利技术后节省的时间越多。能够缩短激光蚀刻时间，提高生产效率。另外，如果使用单光斑线条来蚀刻，担心玻璃基板上异物的影响，可用双光斑线条或三光斑线条降低没蚀刻断开的可能性。【专利附图】【附图说明】图1a和图1b为需要蚀刻的TCO的示意图； 图2a为与图1a对应的TCO上需要蚀刻的线条示意图； 图2b为与图1b对应的TCO上需要蚀刻的线条示意图； 图3是按照传统方法蚀刻的实施例1的图形； 图4是按照本专利技术方法蚀刻的实施例1的图形； 图5是按照传统方法蚀刻的实施例3的图形； 图6是按照本专利技术方法蚀刻的实施例3的图形。其中，I为不需要通电的地方；2为需要想要的通电的地方。【具体实施方式】实施例1 本实施例中，激光蚀刻TCO图案的方法，包括如下步骤:1)绘制激光蚀刻图形:使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条；2)将步骤I)中的图形导入激光设备；3)将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤I)中的图形一样的线条。所述的步骤3)中的线条为单光斑线条。所述的绘图软件为AUTO CAD、CORELDRAW或CAM。激光器波长(激光器8W):532nm，激光控制能量电流:21A，光斑直径:25um，频率:100KHZ，振镜速度:600mm/s，激光开延时:_450us，激光关延时:140us，跳转延时:100us，拐弯延时:100us，纵向填充密度:0.012mm，需要切割出一个面积为的方形，与周围的TCO断开，使用传统的方法把整个面积为的方形蚀刻干净，如图3，蚀刻时间为19.054s，但使用本专利技术后，如图4，蚀刻时间为0.475s。时间相差40.11倍。实施例2 本实施例中，激光蚀刻TCO图案的方法，包括如下步骤:1)绘制激光蚀刻图形:使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条；2)将步骤I)中的图形导入激光设备；3)将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤I)中的图形一样的线条。所述的步骤3)中的线条为单光斑线条。所述的绘图软件为AUTO CAD、CORELDRAW或CAM。激光波长为1064nm，激光器能量:20W，电流控制:100%，单光斑直径:65um，频率:50KHZ，振镜速度:500mm/s，激光开延时:50us，激光关延时:180us，跳转延时:400us，光闸开延时:500us，纵向填充密度:0.02mm，需要切割出一个面积为20mm*20mm的方形，与周围的TCO断开，使用传统的方法把整个面积为20mm*20mm的方形蚀刻干净，蚀刻时间为87s，但使用本专利技术后，蚀刻时间为4s。时间相差21.75倍。实施例3 本实施例中，激光蚀刻TCO图案的方法和设备，与实施例2相同。传统的对位标如图5，是一个面十字标，这样设计会浪费蚀刻时间，如使用本专利技术后，可以简化为图6，直接用蚀刻线代替，可达到同样对位的，但可以节省了很多时间。实施例4 本实施例中，激光蚀刻TCO图案的方法和设备，与实施例1相同。只是在步骤I)中绘图时，以被断开的TCO线条为基础，在一边再画一条线条，线条间距大概为光斑直径的1/3，步骤3)中的线条为双光斑线条。实施例5 本实施例中，激光蚀刻TCO图案的方法和设备，与实施例1相同。只是步骤I)中绘图时，以被断开的TCO线条为基础，在两边各画一条线条，线条间距大概为光斑直径的1/3，步骤3)中的线条为三光斑线条。【权利要求】1.一种激光蚀刻TCO图案的方法，其特征在于，包括如下步骤: 1)绘制激光蚀刻图形:使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条； 2)将步骤I)中的图形导入激光设备； 3)将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤I)中的图形一样的线条。2.根据权利要求1所述的激光蚀刻TCO图案的方法，其特征在于，所述的步骤3)中的线条为单光斑线条。3.根据权利要求1所述的激光蚀刻TCO图案的方法，其特征在于，所述的步骤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光蚀刻TCO图案的方法，其特征在于，包括如下步骤：1）绘制激光蚀刻图形：使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条；2）将步骤1）中的图形导入激光设备；3）将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤1）中的图形一样的线条。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：田元生，任华进，
申请(专利权)人：南京第壹有机光电有限公司，
类型：发明
国别省市：