【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种提高ITO导电薄膜表面红外波段透光率的方法，利用皮秒激光在离焦情况下，在ITO导电薄膜表面制作大面积纳米波纹结构，既能有效增加薄膜太阳能电池中感光材料表面红外光波的辐照量，又能保证ITO导电薄膜电阻在每平方厘米40Ω以下，从而提升薄膜太阳能电池的发电效率。【专利说明】一种提高ITO导电薄膜表面红外波段透光率的方法
本专利技术属于微制造
，具体涉及一种提高ITO导电薄膜表面红外波段透光率的方法。
技术介绍
目前，薄膜技术被应用到新型太阳能电池制造领域，成功解决了晶体硅太阳能电池的高成本问题。由于薄膜太阳能电池中用于收集电荷的ITO导电薄膜在红外波段透光率较低，用于薄膜太阳能电池发电的光波主要来自可见光波段，红外波段光波只有小部分照射在可产生光电效应的硅表面，电池的效率受到了限制，提高ITO导电薄膜红外波段的透光率可改善这一缺点。近年来，各国对用于提高红外波段光波吸收率的“黑硅”材料的研究越来越多，这进一步增加了提高ITO导电薄膜在红外波段透光率的必要性。皮秒激光以一定方式辐照在材料表面制作大面积微纳结构的方法可以改善材料的光学性能，...
【技术保护点】
一种提高ITO导电薄膜表面红外波段透光率的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)首先，调节皮秒激光器输出激光波长为1064nm，重频1KHz，脉宽10ps，调节激光功率衰减片，使激光功率在22?25mw之间；2)其次，在光路中选用焦距为150mm的聚焦透镜用于聚焦光束，在聚焦透镜前加装小孔光阑，并调节小孔光阑通光孔大小，使沿着光路方向离焦点2mm处光斑大小为40?45μm；3)最后，利用调好的皮秒激光辐照可移动载物台上的ITO导电薄膜，可移动载物台沿水平方向移动，速度为2?4mm/s，当激光光斑达到ITO导电薄膜水平方向的边缘时，可移动载物台在竖直方向移动30?40μm距离，...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王文君，刘鹏，梅雪松，王恪典，刘斌，赵万芹，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：
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