一种二氧化钛/硫化镉/二氧化钛复合薄膜及其应用制造技术

本发明专利技术公开了属于废水处理技术领域的一种二氧化钛/硫化镉/二氧化钛复合薄膜及其应用。该方法采用倾斜生长法在基底上沉积钛，得到分立性良好的纳米棒阵列薄膜，将这种钛薄膜在450℃空气条件下退火2小时得到二氧化钛纳米棒阵列薄膜，在二氧化钛纳米棒阵列上利用连续离子层吸附反应法沉积硫化镉纳米颗粒得到二氧化钛/硫化镉复合薄膜，这种薄膜在可见光下有良好的有机废水处理效果。在二氧化钛/硫化镉复合薄膜上用原子层沉积法在薄膜上再沉积一层二氧化钛，这种二氧化钛/硫化镉/二氧化钛结构相比二氧化钛/硫化镉的可见光有机废水降解效率有明显提高。该处理方法简单，对可见光催化性能提升明显，在废水处理有广泛的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种二氧化钛/硫化镉/二氧化钛复合薄膜，其特征在于，采用连续的原子层沉积方法在二氧化钛/硫化镉薄膜上沉积一层二氧化钛薄膜，得到二氧化钛/硫化镉/二氧化钛复合薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张政军，谢拯，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：