层积体、流体传输管和管制造技术

本发明专利技术涉及层积体、流体传输管和管，其目的在于提供一种可见性优异且试剂透过性小的层积体以及由该层积体构成的流体传输管和管。本发明专利技术所提供的层积体是具有熔融加工性含氟聚合物层（Ａ）和着色层（Ｂ）的层积体，其特征在于，上述着色层（Ｂ）含有三氟氯乙烯共聚物和着色剂，上述三氟氯乙烯共聚物至少以三氟氯乙烯单元、四氟乙烯单元、以及源自能够与三氟氯乙烯和四氟乙烯共聚的单体［α］的单体［α］单元作为结构单元，上述三氟氯乙烯单元和上述四氟乙烯单元的合计为９０～９９．９摩尔％，上述单体［α］单元为０．１～１０摩尔％。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及层积体以及使用该层积体的流体传输管和管。
技术介绍
以含氟聚合物为材料的层积体的耐化学药品性、耐热性等优异，在 半导体、液晶面板、药品、饮食品等各种制造领域中得到利用。其中，在半导体和液晶面板的制造中，使用各种具有强腐蚀作用的 试剂和含有研磨剂的带有表面活性剂的液体。为了传输这些试剂类，已知可以使用由四氟乙烯/全氟(烷基乙烯基醚)共聚物构成的管。这主要是有赖于其优异的耐腐蚀性和能够观察流体的传输状况的透明性。由PFA构成的管在生产线中要使用好几根，要求能够容易地观察到 在经配管的每个管中流通着什么流体(即可见性)。为了回应这种要求，公开了一种PFA与无机颜料的混合物进一步混 合有含氟有机聚硅氧垸化合物的树脂组合物及其成型体(例如，参见专利 文献1)。但是，该成型体中存在的问题是，所包含的颜料在半导体和液 晶面板的生产线中成为了污染源。于是，有提案提出了一种以层积状具有熔融加工性含氟聚合物层(A) 和着色熔融加工性聚合物层(B)的流体传输管(例如，参见专利文献2)。但 是，在试剂的透过性能方面有进一步降低试剂的透过性的要求。并且， 流体传输管中，两层的粘接强度低或是两层完全没有粘接时，试剂透过 性可能会变得不令人满意。另外，作为试剂的透过性小的含氟树脂，有提案提出了三氟氯乙烯 共聚物(例如，参见专利文献3)。并且，还有提案提出了由使用三氟氯乙 烯共聚物的层积体构成的流体输送部件(例如，参见专利文献4)。但是， 在上述文献中均没有找到关于使三氟氯乙烯共聚物着色的具体记载。专利文献1:日本特开2000-26688号公报 专利文献2:国际公开第2005/047747号小册子 专利文献3:国际公开第2005/100420号小册子 专利文献4:国际公开第2005/108051号小册子
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够表现出优异的可见性且试剂透过性 小的层积体以及由该层积体构成的流体传输管(fluid transport pipe)和管 (tube)。本专利技术涉及一种层积体，其是具有熔融加工性含氟聚合物层(A)和着 色层(B)的层积体，其特征在于，上述着色层(B)含有三氟氯乙烯共聚物和 着色剂，上述三氟氯乙烯共聚物至少以三氟氯乙烯单元、四氟乙烯单元、 以及源自能够与三氟氯乙烯和四氟乙烯共聚的单体的单体单元作为 结构单元，上述三氟氯乙烯单元和上述四氟乙烯单元的合计为90 99.9摩 尔％，上述单体单元为0.1 10摩尔％。本专利技术涉及一种流体传输管，其特征在于，其是用上述层积体形成的。本专利技术涉及一种管，其特征在于，其是用上述层积体形成的。 本专利技术涉及一种半导体制造装置，其特征在于，其具有上述流体传 输管或上述管。本专利技术涉及一种面向半导体生产线的试剂供给系统，其特征在于， 其具有上述流体传输管或上述管。 下面详细说明本专利技术。本专利技术的层积体具有熔融加工性含氟聚合物层(A)和着色层(B)。 本说明书中，所谓"具有熔融加工性含氟聚合物层(A)和着色层(B)" 是指上述熔融加工性含氟聚合物层(A)与上述着色层(B)可以相接触，但并 不要求上述熔融加工性含氟聚合物层(A)与上述着色层(B)—定接触，在上 述熔融加工性含氟聚合物层(A)与上述着色层(B)之间也可以具有其他的 层。此处，作为其他的层，并不要求一定满足作为后述的气体阻隔层的 性能，可以根据所要求的性能在公知的材料中选择。本说明书中，所谓"具有熔融加工性含氟聚合物层(A)和着色层(B)" 还表示着色层(B)包覆着整个熔融加工性含氟聚合物层(A)或根据需要设 置的上述其他的层。上述着色层(B)可以是全部为着色部分的着色层，也可以是部分具有 着色部分、该着色部分以外的部分透明的着色层。上述层积体中，熔融加工性含氟聚合物层(A)与着色层(B)都可以位于 内层侧。本专利技术的层积体中，上述熔融加工性含氟聚合物层(A)通常由熔融加 工性含氟聚合物构成。上述熔融加工性含氟聚合物是具有熔融加工性且结合在碳原子上的 至少一个氢原子取代为氟原子的聚合物。作为上述熔融加工性含氟聚合物，可以举出三氟氯乙烯聚合物、氟 乙烯聚合物、偏二氟乙烯聚合物，从耐腐蚀性和加工性的方面考虑，更 优选四氟乙烯共聚物。本说明书中，上述熔融加工性表示能够依照ASTM D-1238和D-2116 在高于结晶化熔点的温度下测定熔融指数的聚合物特性。上述四氟乙烯共聚物是将四氟乙烯与TFE以外的氟代烯烃和/或 非含氟烯键式单体共聚而成的共聚物。上述TFE共聚物中，上述TFE单元在构成上述TFE共聚物的全部 单体单元中所占的比例优选为80 99摩尔％。若该比例小于80摩尔％， 则可能耐热性会变差，若超过99摩尔％，则共聚物变脆，可能在耐裂纹 性方面出现问题。该比例更优选的下限为85摩尔％，进一步优选的下限 为90摩尔％。本说明书中，上述"全部单体单元"是指上述TFE共聚物的分子结 构之中源自单体的所有部分。本说明书中，上述"TFE单元"是指上述TFE共聚物的分子结构之 中源自TFE单体的部分。对上述TFE以外的氟代烯烃没有特别限定，可以举出例如六氟丙烯、全氟(烷基乙烯基醚)、 CF = CFO 0 \,Fg(/ 、CF3 、 CF2=CFO(CF2)2CF = CF2等全氟烯键式单体；偏二氟乙烯、三氟乙烯、氟乙烯、三氟丙烯、 五氟丙烯、四氟丙烯、六氟异丁烯等含氢氟代烯键式单体；三氟氯乙烯 等含氯氟代烯键式单体等。从所得到的树脂的耐裂纹性和成本方面出发，可以适宜地使用全氟 (丙基乙烯基醚)、全氟(乙基乙烯基醚)、全氟(甲基乙烯基醚)等作为上述 PAVE。上述TFE以外的氟代烯烃可以使用一种或组合两种以上使用。对上述非含氟烯键式单体没有特别限定，可以举出例如乙烯、丙 烯、丁烯、戊烯等碳原子数为2 10的(X-烯烃单体；甲基乙烯基醚、乙 基乙烯基醚、丙基乙烯基醚、环己基乙烯基醚、羟基丁基乙烯基醚、丁 基乙烯基醚等烷基的碳原子数为1 20的烷基乙烯基醚等。上述非含氟烯键式单体可以使用一种或组合两种以上使用。作为上述四氟乙烯共聚物，从能够制成耐腐蚀性、耐化学药品性特 别优异并且用作流体传输管时不污染内部的流体且可见光透过率高的层 积体的方面考虑，优选TFE/PAVE共聚物、 TFE/HFP共聚物、 Et/TFE共聚物、或者TFE/VdF共聚物，更优选PFA。将所得到的层积体用作流体传输管，从传输管外部进行UV照射等 以对牛奶等流体进行杀菌的情况下，对耐热性有要求，从这一方面以及 不易繁殖杂菌的方面考虑，更优选为PFA。作为上述熔融加工性含氟聚合物，从耐化学药品性的方面考虑，优 选不残留有不稳定末端的物质。本说明书中，所谓不稳定末端是指-COF、 -CH2OH、 -CONH2、 -COOH等易于被热分解的末端基团。特别地，从耐化学药品性的方面考虑，优选不残留有-COF、 -CH2OH、-03皿2等不稳定末端的PFA。上述烙融加工性含氟聚合物的末端基团优 选为-CF3。上述熔融加工性含氟聚合物也可以是以含有官能团的烯键式单体作 为共聚单体聚合而成的产物。特别地，上述熔融加工性含氟聚合物为四氟乙烯共聚物的情况 下，出于改善与后述的着色层(B)或气体阻隔层(C)的粘接性的目的，可以 是以含有官能团的烯键本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种层积体，其具有熔融加工性含氟聚合物层（Ａ）和着色层（Ｂ），该层积体的特征在于，　所述着色层（Ｂ）含有三氟氯乙烯共聚物和着色剂，　所述三氟氯乙烯共聚物至少以三氟氯乙烯单元、四氟乙烯单元、以及源自能够与三氟氯乙烯和四氟乙烯共聚的 单体［α］的单体［α］单元作为结构单元，　所述三氟氯乙烯单元和所述四氟乙烯单元的合计为９０～９９．９摩尔％，所述单体［α］单元为０．１～１０摩尔％。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：三木规彦，下野武司，
申请(专利权)人：大金工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]