【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术双开门蓝宝石单晶生长炉腔室，包括：腔室主体；腔室门，所述腔室门的数量为两个，两个所述腔室门通过铰链销轴设置在所述腔室主体的两侧；锁扣，所述锁扣设置在所述腔室主体上，所述锁扣的位置与所述腔室门的位置相匹配。在腔室主体上还设有密封圈。本技术双开门蓝宝石单晶生长炉腔室在腔室主体左右对开双门框，左右两扇腔室门通过铰链销轴联接在一起，门可以旋转打开关闭，腔室门与门框之间通过锁扣锁住或松开；对腔室主体内的一些操作，打开门就可以便利的进行。【专利说明】双开门蓝宝石单晶生长炉腔室
本技术属于蓝宝石单晶生产领域，特别是一种蓝宝石单晶生长炉腔室的双开门结构设计。
技术介绍
蓝宝石单晶生长炉行业，传统上都是圆炉筒、上下合盖的结构。热场安装有两种主要方式:一、引晶部件旋转开一定的角度，让开腔室上部空间，在上开口进行吊装操作，完成热场安装；二、腔室上部留有适当的空间，将热场安放在下腔室盖上，通过下腔室盖的升降操作，完成热场安装。生产过程中下部热场的耗损和异常状况也不便于观察。热场的维护操作也不方便。EFG工艺方法的蓝宝石单晶生长炉腔室结构上也有侧面开门的结构，但仅限于单开门。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种方便热场的维护和操作的双开门蓝宝石单晶生长炉腔室。为解决上述技术问题，本技术双开门蓝宝石单晶生长炉腔室，包括:腔室主体；腔室门，所述腔室门的数量为两个，两个所述腔室门通过铰链销轴设置在所述腔室主体的两侧；锁扣，所述锁扣设置在所述腔室主体上，所述锁扣的位置与所述腔室门的位置相匹配。在腔室主体上还设有密封圈。本技术双开门蓝宝石单晶生长炉腔室在腔室主体左右对开...
【技术保护点】
双开门蓝宝石单晶生长炉腔室，其特征在于，包括：腔室主体；腔室门，所述腔室门的数量为两个，两个所述腔室门通过铰链销轴设置在所述腔室主体的两侧；锁扣，所述锁扣设置在所述腔室主体上，所述锁扣的位置与所述腔室门的位置相匹配。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈有生，
申请(专利权)人：上海朗兆机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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