【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置，涉及一种垂直精度装置，由底座（3）和晶托固定装置（2）组成，通过在底座（3）上设置晶托固定装置（2），并使晶托固定装置（2）内壁的高度大于晶托锥面（5）的上底面，以此来到达高垂直精度的目的；本技术实用性强，安装和维护均比较方便，操作起来比较方便，有效解决了现有装置垂直精度不高的问题，极大提高了粘棒晶托的垂直精度，满足了客户的要求。【专利说明】一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置【
】本技术涉及一种垂直精度装置，尤其是涉及一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置。【
技术介绍
】公知的，目前在太阳能硅单晶圆棒粘棒装置中，现有的粘棒机底座上的固定机构由于其结构不合理，内壁的高度低于粘棒晶托的晶托锥面上锥面的高度，因此固定装置不能对粘棒晶托进行精确的限位，造成粘棒晶托的自由度过大，导致在硅棒粘接时过大的晃动，使得粘结后硅棒的垂直度在I~2.5_之间，不能满足开方工艺的精度要求(粘结后硅棒的垂直度< 0.8_)，往往会造成硅晶棒开方垂直精度不合格而报废，严重影响企业效益。【
技术实现思路
】为了克服
技术介绍
中的不足，本技术公开了一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置，本技术通过在底座上设置晶托固定装置，并使晶托固定装置内壁的高度大于晶托锥面的上底面，以此来到达高垂直精度的目的。为了实现所述专利技术目的，本技术采用如下技术方案:一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置，包括底座和晶托固定装置，在底座的上部面上设有晶托固定装置，晶托固定装置一端面与底座相连接，晶托固定装置的另一端面的内圆侧上设有锥面，粘棒晶托置于晶托固定装置内，粘棒晶托底面...
【技术保护点】
一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置，包括底座（3）和晶托固定装置（2），其特征是：在底座（3）的上部面上设有晶托固定装置（2），晶托固定装置（2）一端面与底座（3）相连接，晶托固定装置（2）的另一端面的内圆侧上设有锥面（4），粘棒晶托（1）置于晶托固定装置（2）内，粘棒晶托（1）底面的外圆侧的底面设有晶托锥面（5），粘棒晶托（1）外圆侧与晶托固定装置（2）内圆侧平行重合部分长度至少为五毫米。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：满时君，裴保齐，王振国，蒋建国，邵斌，
申请(专利权)人：洛阳鸿泰半导体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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