【技术实现步骤摘要】
—种用于优化半导体工艺条件的气体注入管
本专利技术涉及半导体工艺领域,特别涉及用于优化半导体工艺条件的气体注入管。
技术介绍
随着半导体器件工艺的发展以及按比例尺寸缩小,工艺条件的要求越来越精细,对工艺环境的均衡性要求越来越高。例如图1:传统炉管具备产能大,制程耗费低等优点,对半导体营运成本的降低尤为重要。但是传统的炉管机台,由于batch size比较大,通常一般炉管一次可以作业125片产品,气体在通入炉管时由于晶舟过长,气体从底部进入后经过消耗到达顶部时气体浓度已减少很多,最终需要通过温度的调节来达到晶舟上下膜厚一致的效果。低压炉管气体由炉管底部进入反应炉,随着气体上升过程中的消耗气体浓度必然会逐渐减小,这就决定了晶舟上下端膜厚如需相同则需要通过温度的调节来实现。因此,本专利技术设计一种能够使得到达晶舟周围的浓度一致且温度一致的注入管,来替代传统的注入管,如图3所示。
技术实现思路
本专利技术通过改进气体注入管(injector)的设计,采用由下到上管路逐渐变粗并相应添加毛细孔的方式来实现气体在上升过程中流出注入管的量相同的目的,具体解决方案如下:—种用于优化半导体工艺条件的气体注入管,应用于炉管中,其中,所述气体注入管为由下到上管路直径逐渐增大的管道,且所述注入管的管壁设置有若干毛细孔;其中,所述毛细孔由下而上分布的密度逐渐增大,且位于上方的所述毛细孔的孔径大于位于下方的所述毛细孔的孔径。上述用于优化半导体工艺条件的气体注入管,其中,所述注入管为从下往上气体管开口逐渐变大的梯形构造。上述用于优化半导体工艺条件的气体注入管,其中,所述毛细孔由下 ...
【技术保护点】
一种用于优化半导体工艺条件的气体注入管,应用于炉管中,其特征在于,所述气体注入管为由下到上管路直径逐渐增大的管道,且所述注入管的管壁设置有若干毛细孔;其中,所述毛细孔由下而上分布的密度逐渐增大,且位于上方的所述毛细孔的孔径大于位于下方的所述毛细孔的孔径。
【技术特征摘要】
1.一种用于优化半导体工艺条件的气体注入管,应用于炉管中,其特征在于,所述气体注入管为由下到上管路直径逐渐增大的管道,且所述注入管的管壁设置有若干毛细孔;其中,所述毛细孔由下而上分布的密度逐渐增大,且位于上方的所述毛细孔的孔径大于位于下方的所述毛细孔的孔径。2.根据权利要求1所述用于优化半导体工艺条件的气体注入管,其特征在于,所述注入管为从下往上气体管开口逐渐变大的梯形构造。3.根据权利要求1所述用于优化半导体工艺条件的气体注入管,其特征在于,所述毛细孔由下到上逐渐变大且逐渐变多。...
【专利技术属性】
技术研发人员:张召,王智,苏俊铭,张旭昇,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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