一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置，解决了现有透光载物台观察到被测物缺陷后不能准确定位等问题。一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置，包括定位膜，所述定位膜为透光的方形膜，所述定位膜上设有定位环和定位网格；所述定位网格由紧密相连的单元格组成，所述单元格为正方形，横向所述单元格按数字顺序由左到右依次编号，纵向所述单元格按英文字母顺序从下至上依次编号，且所述单元格的延伸方向与所述定位膜边长方向相同；所述定位环的圆心与所述定位网格的中心相重合；所述定位环内切于所述定位网格的边缘。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置
本技术涉及定位装置，特别是一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置。
技术介绍
显微镜的载物台就透光性来说一般分为透光和不透光两种，对于需要用透射光观察的样品，比如说碳化硅晶片，一定要采用透光载物台。透光载物台一般都是用透明无色玻璃制成，这种设计不但解决了透射光观察的问题，而且对于在透明的碳化硅晶片里面的缺陷，可以很容易观察到；但是观察后却无法准确定位缺陷的位置，这对于需要确定缺陷的分布状况的样品来说，是个亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术提出一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置，解决了现有透光载物台观察到被测物缺陷后不能准确定位等问题。本技术的技术方案是这样实现的:一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置，包括定位膜，所述定位膜为透光的方形膜，所述定位膜上设有定位环和定位网格；所述定位网格由紧密相连的单元格组成，所述单元格为正方形，横向所述单元格按数字顺序由左到右依次编号，纵向所述单元格按英文字母顺序从下至上依次编号，且所述单元格的延伸方向与所述定位膜边长方向相同；所述定位环的圆心与所述定位网格的中心相重合；所述定位环内切于所述定位网格的边缘。进一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置，其特征在于：包括定位膜，所述定位膜为透光的方形膜，所述定位膜上设有定位环和定位网格；所述定位网格由紧密相连的单元格组成，所述单元格为正方形，横向所述单元格按数字顺序由左到右依次编号，纵向所述单元格按英文字母顺序从下至上依次编号，且所述单元格的延伸方向与所述定位膜边长方向相同；所述定位环的圆心与所述定位网格的中心相重合；所述定位环内切于所述定位网格的边缘。

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置，其特征在于:包括定位膜，所述定位膜为透光的方形膜，所述定位膜上设有定位环和定位网格； 所述定位网格由紧密相连的单元格组成，所述单元格为正方形，横向所述单元格按数字顺序由左到右依次编号，纵向所述单元格按英文字母顺序从下至上依次编号，且所述单兀格的延伸方向与所述定位膜边长方向相同； 所述定位环的圆心与所述定位网格...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕立平，冯淦，赵建辉，
申请(专利权)人：瀚天天成电子科技厦门有限公司，
类型：实用新型
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