本实用新型专利技术涉及一种定位缺陷的载物台及检测装置，定位缺陷的载物台包括基座，所述基座上固定平板，定义所述平板远离所述基座的一侧表面为上表面，所述上表面设置凹槽，所述凹槽的形状与待检测对象的形状相同，从而容置所述待检测对象；所述平板的表面设置若干相互垂直的横轴和纵轴，组成坐标网格，通过所述坐标网格对所述待检测的对象的缺陷进行定位。包含所述定位缺陷的载物台的检测装置，可以快速实现对碳化硅晶片中缺陷的识别和定位，还可以根据机器检测的结果，进行目标坐标区域的快速缺陷定位，极大提高了检测的效率。极大提高了检测的效率。极大提高了检测的效率。
【技术实现步骤摘要】
一种定位缺陷的载物台及检测装置
[0001]本技术涉碳化硅晶片检测技术，尤其是一种定位缺陷的载物台及检测装置。
技术介绍
[0002]碳化硅晶片具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势。目前碳化硅晶片中存在的各种缺陷则成为材料发展的限制，所以对碳化硅晶片缺陷的研究是改善晶片质量的一个重要方向。
[0003]现有的碳化硅晶片检测设备如SICA88，由于检测设备的精度有限，不能很好观察到缺陷的形貌特征，导致不能很好的辨别区分缺陷类型，往往需要在机器自动检测之后进行人工复检，即运用显微镜精确观察缺陷，根据缺陷的形貌辨别缺陷的类型，从而为反馈到生产部门进行相应的工艺优化。
[0004]利用显微镜对碳化硅晶片的缺陷进行观察时，由于缺陷处与正常晶片没有任何颜色差异，也不存在肉眼直接可见的区别，往往需要移动显微镜头对晶片不同位置进行“扫描式”逐一观察，才能在放大条件下识别缺陷，这种检测方式效率低下，难以满足工业生产需求。
技术实现思路
[0005]针对上述问题，本技术提供一种定位缺陷的载物台，通过在平板上设置坐标网格，在将晶片放入平板上的凹槽内后，由于晶片为透明材质，透过晶片可以看到网格标识，从而对晶片中具体缺陷的位置进行编号，记录坐标。在后续检测中，可以根据坐标快速定位缺陷的大致范围，这是因为相似加工方法制备得到的晶片，其缺陷在很大概率上集中在同一区域，从而大大提高识别缺陷的速度。
[0006]为解决此技术问题，本技术采取以下方案：
[0007]一种定位缺陷的载物台，包括基座，所述基座上固定平板，定义所述平板远离所述基座的一侧表面为上表面，所述上表面设置凹槽，所述凹槽的形状与待检测对象的形状相同，从而容置所述待检测对象；所述平板的表面设置若干相互垂直的横轴和纵轴，组成坐标网格，通过所述坐标网格对所述待检测的对象的缺陷进行定位。
[0008]进一步的，所述待检测对象为碳化硅晶片，所述凹槽的外沿由圆弧边和线性参考边首尾相连形成封闭。
[0009]进一步的，所述参考边远离所述圆弧边的一侧设置凹台。
[0010]进一步的，所述平板的上表面设置上凹槽和下凹槽，所述上凹槽的圆弧边直径大于所述下凹槽的圆弧边直径，所述上凹槽位于所述下凹槽上方，在所述上凹槽底部开设所述下凹槽。
[0011]进一步的，所述坐标网格还包括与所述待检测对象外周呈相似图形的曲线边，所述曲线边位于所述凹槽的正投影内，所述曲线边的中心与所述凹槽的中心重合。
[0012]进一步的，所述坐标网格位于所述平板的上表面，所述坐标网格标识坐标。
[0013]进一步的，所述平板为方形板。
[0014]进一步的，所述平板为玻璃板或者透明塑料板。
[0015]进一步的，所述平板的上表面设置至少2个限位缺口，所述限位缺口的高度低于所述平板的上表面；所述基座上固定至少2个限位柱，通过将所述限位缺口卡入所述限位柱，实现所述平板固定在所述基座上。
[0016]基于同一专利技术构思，本技术还提供一种检测装置，包括检测组件和载物组件，所述载物组件包括所述的定位缺陷的载物台。
[0017]通过采用前述技术方案，本技术与现有技术相比，可以快速实现对碳化硅晶片中缺陷的识别和定位，还可以根据机器检测的结果，进行目标坐标区域的快速缺陷定位，极大提高了检测的效率。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例1提供的定位缺陷的载物台结构示意图；
[0019]图2是本技术实施例2提供的定位缺陷的载物台局部结构示意图；
[0020]图3是本技术实施例3提供的定位缺陷的载物台结构示意图。
具体实施方式
[0021]下面将结合附图和具体实施方式对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，但是本领域技术人员将会理解，下列所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，仅用于说明本技术，而不应视为限制本技术的范围。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]实施例1：
[0025]参考图1，定位缺陷的载物台包括基座(图1未示出)，基座上固定平板100，定义平板100远离基座的一侧表面为上表面，上表面设置凹槽，凹槽的形状与待检测对象的形状相同，从而容置待检测对象；平板100的表面设置若干相互垂直的横轴和纵轴，组成坐标网格
104，通过坐标网格104对待检测的对象的缺陷进行定位。坐标网格104可以设置在平板100的上表面，也可以是下表面。
[0026]具体的，待检测对象为碳化硅晶片，根据晶片的一般外形，晶片边缘由圆弧和参考边组成，相当于将圆形用直线切掉一段圆弧。相应的凹槽外周由圆弧边102和线性参考边103首尾相连形成封闭。在其他实施例中，当待检测对象改变时，凹槽的形状可以发生改变，以适应检测对象。
[0027]为了便于取出碳化硅晶片，参考边103远离圆弧边102的一侧设置凹台101，优选的，凹台101的具有与参考边103平行的侧边。
[0028]在具体实施例中，可以参照下面的尺寸：平板采用24.5cm*24.5cm的正方形透明玻璃板，圆弧边102的直径150mm，线性参考边103长47.5mm。坐标网格104充满整个平板，横轴上下间隔2mm，纵轴左右间隔2mm；横轴和纵轴都从中间线开始向上下、左右两边扩散，形成多个方格。对方格进行编号，即格子的坐标，从横轴中心线上排格子、纵轴中心线右边格子开始，相当于xy坐标的第一象限内，沿横轴：从左往右：(1，1)、(2，1)、(3，1)......；从右往左：(
‑
1，1)、(
‑
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种定位缺陷的载物台，其特征在于：包括基座，所述基座上固定平板，定义所述平板远离所述基座的一侧表面为上表面，所述上表面设置凹槽，所述凹槽的形状与待检测对象的形状相同，从而容置所述待检测对象；所述平板的表面设置若干相互垂直的横轴和纵轴，组成坐标网格，通过所述坐标网格对所述待检测的对象的缺陷进行定位。2.根据权利要求1所述的定位缺陷的载物台，其特征在于：所述待检测对象为碳化硅晶片，所述凹槽的外沿由圆弧边和线性参考边首尾相连形成封闭。3.根据权利要求2所述的定位缺陷的载物台，其特征在于：所述参考边远离所述圆弧边的一侧设置凹台。4.根据权利要求2或3所述的定位缺陷的载物台，其特征在于：所述平板的上表面设置上凹槽和下凹槽，所述上凹槽的圆弧边直径大于所述下凹槽的圆弧边直径，所述上凹槽位于所述下凹槽上方，在所述上凹槽底部开设所述下凹槽。5.根据权利要求2或3所述的定位缺陷的载物台，其特征在于：所述坐标网格还包括与所述待检测对象外周呈相似图形的曲线边，所述曲线边位...
【专利技术属性】
技术研发人员：阙金镇，冯淦，赵建辉，
申请(专利权)人：瀚天天成电子科技厦门有限公司，
类型：新型
国别省市：
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