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本实用新型提出一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置，解决了现有透光载物台观察到被测物缺陷后不能准确定位等问题。一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置，包括定位膜，所述定位膜为透光的方形膜，所述定位膜上设有定位环和定位网格；所述定位网格由紧密相...
该专利属于瀚天天成电子科技（厦门）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瀚天天成电子科技（厦门）有限公司授权不得商用。

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