三维测定装置、三维测定方法、程序及基板的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供在利用光度立体法的三维测定装置中能够提高测定对象物的测定精度的三维测定装置、三维测定方法、程序及基板的制造方法。本技术涉及的三维测定装置具备四个以上照明装置、摄像部及控制部。上述四个以上照明装置对测定对象物分别依次照射光。上述摄像部对由上述四个以上照明装置分别依次照射光的上述测定对象物进行拍摄，取得4幅以上上述测定对象物的图像。上述控制部推测从上述四幅以上图像选择至少三幅图像的多个组合中的、上述测定对象物的三维测定的测定精度相对较高的图像的组合，根据推测的上述组合对上述测定对象物进行三维测定。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及使用光度立体法对测定对象物进行三维测定的三维测定装置等技术。
技术介绍
近年来，作为对测定对象物进行三维测定的方法，光度立体法受到广泛关注。在光度立体法中，首先，利用光的照射方向不同的3个以上照明装置依次对测定对象物照射光，在每次切换照明装置时通过摄像部拍摄测定对象物。接着，根据利用摄像部得到的3幅以上图像，取得测定对象物表面的各点的法线方向作为法线贴图。由此，能够对测定对象物进行三维测定。此外，只要存在将照射方向不同的光照射到测定对象物而拍摄到的3幅以上图像，则能够使用光度立体法对测定对象物进行三维测定。在下述专利文献I中，公开有利用光度立体法对印刷有焊料的基板和搭载有电子部件的基板的外观进行检查的外观检查装置。在先技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开2010 - 237034号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题例如，假设利用光度立体法对印刷有焊料的基板进行三维测定的情况。这种情况下，存在由于照明装置和焊料的位置关系、以及焊料的形状等，取得对焊料的三维测定的精度产生恶劣影响的图像的情况。如果以包含这种图像的方式进行基于光度立体法的三维测定，则存在测定精度下降的问题。鉴于上述情况，本技术的目的在于提供，在利用光度立体法的三维测定装置中，能够提高测定对象物的测定精度的三维测定装置等。解决技术问题的技术方案本技术涉及的三维测定装置具备4个以上照明装置、摄像部和控制部。上述4个以上照明装置分别依次对测定对象物照射光。上述摄像部拍摄由上述4个以上照明装置分别依次照射光的上述测定对象物，获取4幅以上上述测定对象物的图像。上述控制部推测从上述4幅以上图像选择至少3幅图像的多个组合中的、上述测定对象物的三维测定的测定精度相对较高的图像的组合，并根据推测的上述组合对上述测定对象物进行三维测定。本技术所涉及的三维测定装置，能够推测从4幅以上图像选择至少3幅图像的多个组合中的、三维测定的测定精度相对较高的图像的组合。因此，在包含对三维测定造成恶劣影响的图像的情况下，造成该恶劣影响的图像，在基于光度立体法的三维测定中被适当地排除。由此，本技术所涉及的三维测定装置能够提高测定对象物的测定精度。在上述三维测定装置中，上述控制部也可以针对上述多个组合中的每一个，分别根据各组合所包含的图像对上述测定对象物进行三维测定，并根据上述各组合中的三维测定的测定结果，推测上述测定精度相对较高的图像的组合。由此，能够适当地推测测定精度相对较高的图像的组合。在上述三维测定装置中，上述控制部也可以反复进行针对上述多个组合中的每一个，分别根据上述各组合所包含的图像对上述测定对象物进行三维测定的处理，判断上述各组合中的三维测定结果的偏差度，并根据上述偏差度推测上述测定精度相对较高的图像的组合。由此，能够适当地推测测定精度相对较高的图像的组合。在上述三维测定装置中，上述控制部也可以将上述多个组合中的、上述偏差度小的组合推测为上述测定精度相对较高的图像的组合。由此，能够适当地推测测定精度相对较高的图像的组合。在上述三维测定装置中，上述控制部也可以从上述多个组合中的、包含应最低限包含的数量的图像的组合中，推测上述测定精度相对较高的图像的组合。由此，能够适当地推测测定精度相对较高的图像的组合。在上述三维测定装置中，上述测定对象物也可以包含多个测定物。这种情况下，上述控制部也可以分别对于上述多个测定物，推测上述测定精度相对较高的图像的组合。“测定对象物”例如是印刷有焊料的基板和安装有电子部件的基板，“测定物”例如是焊料、电子部件等。在上述三维测定装置中，上述测定对象物也可以具有照射有上述光的照射面。这种情况下，上述4个以上照明装置中的至少一个照明装置，也可以对上述照射面的光的照射角度与其他照明装置不同。根据测定对象物的种类，存在对于照射面适当的光的照射角度不同的情况。在该三维测定装置中，能够从各种照射角度对照射面照射光。因此，例如，即使4个以上照明装置中的某个特定照明装置对测定对象物以不适当的照射角度照射光，其他的照明装置也能够对测定对象物以适当的角度照射光。在上述三维测定装置中，在上述测定对象物具有照射有上述光的照射面的情况下，上述4个以上照明装置也可以分别具有光源和减光镜。上述减光镜可以吸收对应于上述光源与上述照射面内的照射点之间的距离的光的照度的偏差。在该三维测定装置中，利用减光镜，能够对照射面照射均匀照度的光。在上述三维测定装置中，上述减光镜也可以具有第一滤镜和第二滤镜。上述第一滤镜具有形成有减光膜的减光面。上述第二滤镜具有与上述第一滤镜的减光面相对重叠的减光面。在上述三维测定装置中，在上述减光镜具有第一滤镜和第二滤镜的情况下，第一滤镜也可以在第一方向具有渐变的图案方向。这种情况下，第二滤镜在与上述第一方向不同的第二方向具有渐变的图案方向，并与上述第一滤镜重叠。上述三维测定装置也可以还具备面发光照明部和同轴落射照明装置。上述面发光照明部具有开口部，配置于上述测定对象物的上方，利用面发光对上述测定对象物照射光。上述同轴落射照明装置在上述开口部的位置与上述摄像部同轴配置。通过这种结构，能够取得正确的二维测定用图像。本技术所涉及的三维测定方法，包括:对由4个以上照明装置分别依次照射光的测定对象物进行拍摄，取得4幅以上上述测定对象物的图像。推测从上述4幅以上图像选择至少3幅图像的多个组合中的、上述测定对象物的三维测定的测定精度相对较高的图像的组合。根据推测的上述组合对上述测定对象物进行三维测定。本技术所涉及的程序，使三维测定装置执行:对由4个以上照明装置分别依次照射光的测定对象物进行拍摄，取得4幅以上上述测定对象物的图像的步骤；推测从上述4幅以上图像选择至少3幅图像的多个组合中的、上述测定对象物的三维测定的测定精度相对较高的图像的组合的步骤；以及根据推测的上述组合，对上述测定对象物进行三维测定的步骤。本技术所涉及的基板的制造方法，包括对由4个以上照明装置分别依次照射光的基板进行拍摄，取得4幅以上上述基板的图像。推测从上述4幅以上图像选择至少3幅图像的多个组合中的、上述基板的三维测定的测定精度相对较高的图像的组合。根据推测的上述组合，对上述基板进行三维测定。根据上述三维测定的测定结果，判断上述基板的好坏，在判断为良品的基板上安装电子部件。专利技术效果如上所述，根据本技术能够提供，在利用光度立体法的三维测定装置中，能够提高测定对象物的测定精度的三维测定装置等。【附图说明】图1是表示本技术的一种实施方式所涉及的印刷检查装置的立体图。图2是表示印刷检查装置的结构的框图。图3是聚光灯的侧向截面图。图4是用于说明LED和基板上表面的光的照射点之间的距离与照射到该照射点的光的照度的关系的图。图5是表示渐变的图案方向不同的多个滤镜重叠而构成减光镜的情况的一例的图。图6是面发光照明部的侧向截面图。图7是表示推测三维测定的测定精度相对较高的图像的组合时的处理的流程图。图8是用于说明图7所示的处理的补充图。图9是表示基板检查时的印刷检查装置的处理的流程图。图10是表示焊料的高度基准的图。【具体实施方式】以下，参照附图对本技术所涉及的实施方式进行说明。印刷检查装置100的整体结构及各部的结构图1是表示本技术的一实施方式所涉及的印刷检查装置100本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维测定装置，其特征在于：具备：对测定对象物分别依次照射光的4个以上照明装置；摄像部，对由所述4个以上照明装置分别依次照射光的所述测定对象物进行拍摄，取得4幅以上所述测定对象物的图像；以及控制部，在从所述4幅以上图像选择至少3幅图像的多个组合中推测所述测定对象物的三维测定的测定精度相对高的图像的组合，并根据推测的所述组合，对所述测定对象物进行三维测定。

【技术特征摘要】
2012.08.17 JP 2012-1808761.一种三维测定装置，其特征在于:具备:对测定对象物分别依次照射光的4个以上照明装置；摄像部，对由所述4个以上照明装置分别依次照射光的所述测定对象物进行拍摄，取得4幅以上所述测定对象物的图像；以及控制部，在从所述4幅以上图像选择至少3幅图像的多个组合中推测所述测定对象物的三维测定的测定精度相对高的图像的组合，并根据推测的所述组合，对所述测定对象物进行三维测定。2.根据权利要求1所述的三维测定装置，其特征在于，所述控制部针对所述多个组合中的每一个，分别根据各组合所包含的图像，对所述测定对象物进行三维测定，并根据所述各组合中的三维测定的测定结果，推测所述测定精度相对高的图像的组合。3.根据权利要求2所述的三维测定装置，其特征在于，所述控制部反复进行针对所述多个组合中的每一个，分别根据所述各组合所包含的图像对所述测定对象物进行三维测定的处理，判断所述各组合中的三维测定的结果的偏差度，并根据所述偏差度推测所述测定精度相对高的图像的组合。4.根据权利要求3所述的三维测定装置，其特征在于，所述控制部将所述多个 组合中所述偏差度小的组合推测为所述测定精度相对高的图像的组合。5.根据权利要求1所述的三维测定装置，其特征在于，所述控制部从所述多个组合中、包含应最低限包含的数量的图像的组合中推测所述测定精度相对闻的图像的组合。6.根据权利要求1所述的三维测定装置，其特征在于，所述测定对象物包含多个测定物，所述控制部分别对于所述多个测定物，推测所述测定精度相对高的图像的组合。7.根据权利要求1所述的三维测定装置，其特征在于，所述测定对象物具有被照射所述光的照射面，所述4个以上照明装置中的至少一个照明装置对所述照射面的光的照射角度与其他照明装置不同。8.根据权利要求1所述的三维测定装置，其特征在于，所述测定对象物具有被照射所述光的照射面...

【专利技术属性】
技术研发人员：井户胜也，千贺大辅，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：