【技术实现步骤摘要】
一键式光学测量仪
本专利技术涉及一种测量仪器，特别涉及一种能够大幅提高测量效率，改善测量精度 的测量仪器，用于对检测产品的质量检测，特别是精密，细微产品检测。
技术介绍
随着工业生产力的不断发展，对产品质量的追求也越来越高。如何快速准确地检 测产品的质量已经是很多企业正面临的问题。现有的测量缺陷如下:传统地，现在很多企业都是采用传统的测量工具以及依靠 人力来完成测量工作，这样大大降低了测量效率，测量效果会受到员工素质，工作状态，经 验等因素的影响，对于精密，细微产品，如，芯片表面缺陷的检测，则显得无能为力。随着测量技术的发展，出现了如CN102023168A公开的对半导体晶圆表面的芯片 进行高倍率的图像拍摄，从而对芯片进行快速有效检测的系统，但上述系统仍是以获得产 品图像为终止，无法一键式获得产品图像的各测量参数，并且由于未对图像进行标定，从获 得的产品图像无法得到真实产品的尺寸，误差很大，再者，常规光学影像测量仪器对待测 件的摆放位置和方向有非常严格的要求(比如，要放置在有标记的区域，要水平摆放等)，否 贝IJ，将无法得到准确的测量结果，甚至根本无法完成...
【技术保护点】
一种一键式光学测量仪，其特征在于，该测量仪包括光学系统，标定系统，匹配系统，图像测量系统，其中，所述光学系统沿光路顺次包括平行光源，反光镜，载物台，双远心镜，相机；所述标定系统用于计算相机所得图像中每个像素代表的实际尺寸大小；所述匹配系统用于实现待测件图像与其标准图像的自动配准，计算出待测件放置位置相对于测量规划时的位移以及旋转角度，从而对待测件的放置位置进行调整；所述图像测量系统包括寻找基元模块，辅助图形成像模块和测量模块，所述寻找基元模块用于在采集图像中获得基本几何图形，所述辅助图形成像模块基于所获得基本几何图形绘制辅助图形，所述测量模块根据基本几何图形和/或辅助图形获得各种测量参数。
【技术特征摘要】
1.一种一键式光学测量仪，其特征在于，该测量仪包括光学系统，标定系统，匹配系统，图像测量系统， 其中，所述光学系统沿光路顺次包括平行光源，反光镜，载物台，双远心镜，相机； 所述标定系统用于计算相机所得图像中每个像素代表的实际尺寸大小； 所述匹配系统用于实现待测件图像与其标准图像的自动配准，计算出待测件放置位置相对于测量规划时的位移以及旋转角度，从而对待测件的放置位置进行调整； 所述图像测量系统包括寻找基元模块，辅助图形成像模块和测量模块，所述寻找基元模块用于在采集图像中获得基本几何图形，所述辅助图形成像模块基于所获得基本几何图形绘制辅助图形，所述测量模块根据基本几何图形和/或辅助图形获得各种测量参...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈镇龙，罗颖，宋昀岑，谭育，谭良，凌云，谢恒，刘丁维，李文龙，杨学光，薛丙强，丁健，
申请(专利权)人：成都术有科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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