炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具，用以将密封圈安装到机台上的沟槽处，该安装工具包括套筒、手柄、转动圆盘和至少两个滚轮，每个所述滚轮均与所述转动圆盘连接，所述转动圆盘通过绕自身轴心的旋转驱动所述滚轮沿着所述密封圈的安装位置运动，所述滚轮滚压在所述密封圈上，所述转动圆盘还与所述手柄连接，所述转动圆盘与所述手柄通过所述手柄的转动操作实现同步旋转，所述套筒与机台固定连接，所述套筒包括一个底板，所述手柄穿过所述底板上的孔与所述转动圆盘连接，使得所述手柄仅能沿该孔的轴向移动和绕该孔的轴向旋转。提供一种快速省力地安装密封圈，同时能够避免人的烫伤、损伤和密封圈损坏的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具
本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具。
技术介绍
炉管反应腔自动隔挡门上的密封圈的使用寿命不长，KE GOX炉管机台中反应腔自动隔挡门上的密封圈使用寿命只有4个月，需要经常更换，每次更换都是需要用手指按压密封圈，容易造成手指受伤，如果使用硬物积压又容易发生用力过猛损伤密封圈，同时还必须忍受高温的危害。具体来说，炉管机台闲置时温度为700度，需要降温才能开始更换密封圈的操作，700度太热，此时操作会烫伤，所以需要降温，然而，温度降的太低密封圈又太硬，很容易碎裂，在现有技术中通常选择400度时进行操作。操作时，首先利用使用小型一字螺丝刀轻轻挑出密封圈，再利用无尘布清洁沟槽，然后换上新的密封圈进行安装，在这一过程中，完全是用手指来按压，常常两三个人需要花费3个小时用力顶压密封圈，每次挤压密封圈都需要用一大块的无尘布蘸上很多水盖在手上，防止烫伤，同时，按压安装时必须始终保持对角安装，以使得密封圈均匀的被压进沟槽内。最后检查密封圈表面是否损坏。采用此工序进行密封圈的安装，费时费力，如果用力过大，还会导致安装者手指受伤。同时，在高温下长时间作业，可能会造成烫伤。此外，如果使用硬物进行对密封圈的挤压，还有可能把密封圈压坏，成本会升高，也可能会对机台造成损伤。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种快速省力地安装密封圈，同时能够避免人的烫伤、损伤和密封圈损坏的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具。为了解决这一技术问题，本技术提供了一种炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具，用以将密封圈安装到机台上的沟槽处，所述炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具包括套筒、手柄、转动圆盘和至少两个滚轮，每个所述滚轮均与所述转动圆盘连接，所述转动圆盘通过绕自身轴心的旋转驱动所述滚轮沿着所述密封圈的安装位置运动，所述滚轮滚压在所述密封圈上，所述转动圆盘还与所述手柄连接，所述转动圆盘与所述手柄通过所述手柄的转动操作实现同步旋转，所述套筒与机台固定连接，所述套筒包括一个底板，所述手柄穿过所述底板上的孔与所述转动圆盘连接，使得所述手柄仅能沿该孔的轴向移动和绕该孔的轴向旋转。所述炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具还包括弹簧，所述弹簧位于所述手柄外侧，且所述弹簧的两端通过自身的张力分别顶住所述底板和旋转圆盘。所述套筒还包括侧壁，所述底板与所述侧壁固定连接，所述侧壁的表面设有卡块，所述机台上设有固定支具，通过所述卡块与固定支具的固定连接，所述套筒与所述机台实现连接。所述固定支具上设有与所述卡块匹配的卡槽，所述卡块通过放置在所述卡槽内实现所述卡块与所述固定支具的固定连接。所述滚轮等分所述密封圈布置。所述滚轮的数量为4个。所述旋转圆盘平行于所述密封圈的安装位置，所述手柄与所述旋转圆盘垂直连接，且所述手柄与所述旋转圆盘的连接处位于所述旋转圆盘的圆心位置。本专利技术利用至少两个滚轮滚压在所述密封圈上，将其压进机台的沟槽内，为了更好地实行滚压，将滚轮与转动圆盘连接，再通过手柄驱动所述转动圆盘旋转实现滚轮的滚压运动，进而使得密封圈受到均匀的挤压进入沟槽，代替了徒手操作中对角按压的效果，同时，本专利技术还利用一个套筒，尤其是套筒中的底板，由于其与机台是固定连接的，当手柄穿过底板上的孔连接转动圆盘时，可以有效限制手柄的旋转和移动，使其仅能沿该孔的轴向移动和绕该孔的轴向旋转，进而保证了所述旋转圆盘的位置，亦即保证了滚轮滚压的均匀施力。提供一种快速省力地安装密封圈，同时能够避免人的烫伤、损伤和密封圈损坏的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具。【附图说明】图1是本技术一实施例提供的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具的机构示意图；图中，1-机台；2_密封圈；3-沟槽；4-滚轮；5-支杆；6_旋转圆盘；7-手柄；8-套筒；81_侧壁；82_底板；9_弹簧；10_卡块；11-固定支具。【具体实施方式】以下将结合图1对本技术提供的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具进行详细的描述，其为本技术一可选的实施例，可以认为本领域的技术人员在不改变本技术精神和内容的范围内能够对其进行修改和润色。请参考图1，在本实施例提供了一种炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具，用以将密封圈2安装到机台I上的沟槽3处，所述炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具包括套筒8、手柄7、转动圆盘6和至少两个滚轮4，每个所述滚轮4均与所述转动圆盘6连接，所述转动圆盘6通过绕自身轴心的旋转驱动所述滚轮4沿着所述密封圈2的安装位置运动，所述滚轮4滚压在所述密封圈2上，所述转动圆盘6还与所述手柄7连接，所述转动圆盘6与所述手柄7通过所述手柄7的转动操作实现同步旋转，所述套筒8与机台I固定连接，所述套筒8包括一个底板82，所述手柄7穿过所述底板82上的孔与所述转动圆盘6连接，使得所述手柄7仅能沿该孔的轴向移动和绕该孔的轴向旋转。在本实施例中，所述底板82为厚铁板，其具体的厚度以能够限制手柄7为准。本实施例利用至少两个滚轮4滚压在所述密封圈2上，将其压进机台I的沟槽3内，为了更好地实行滚压，将滚轮4与转动圆盘6连接，再通过手柄7驱动所述转动圆盘6旋转实现滚轮4的滚压运动，进而使得密封圈2受到均匀的挤压进入沟槽3，代替了徒手操作中对角按压的效果，同时，本实施例还利用一个套筒8，尤其是套筒中的底板82，由于其与机台I是固定连接的，当手柄7穿过底板82上的孔连接转动圆盘6时，可以有效限制手柄7的旋转和移动，使其仅能沿该孔的轴向移动和绕该孔的轴向旋转，进而保证了所述旋转圆盘6的位置，亦即保证了滚轮4滚压的均匀施力。提供一种快速省力地安装密封圈，同时能够避免人的烫伤、损伤和密封圈损坏的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具。请参考图1，所述炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具还包括弹簧9，所述弹簧9位于所述手柄7外侧，且所述弹簧9的两端通过自身的张力分别顶住所述底板82和旋转圆盘6，也就是说，当套筒8安装固定后，弹簧9属于被压缩状态，所以可以利用其张力为旋转圆盘6和滚轮4提供支撑的力，而无需人为地对手柄7施加压力，从而可以使得滚轮4更有效地滚压在密封圈2上。请参考图1，所述套筒8还包括侧壁81，所述底板82与所述侧壁81固定连接，所述侧壁81的表面设有卡块10，所述机台I上设有固定支具11，通过所述卡块10与固定支具11的固定连接，所述套筒8与所述机台I实现连接。在本实施例中，当完成安装后，侧壁81、机台I和底板82之间围合形成了内部空间，所述转动圆盘6和滚轮4均位于该空间内。所述固定支具11上设有与所述卡块匹配的卡槽(图未示)，所述卡块10通过放置在所述卡槽内实现所述卡块10与所述固定支具11的固定连接。所述滚轮4等分所述密封圈2布置，具体来说，密封圈2为圈状，滚轮4始终位于该圈状的位置上，该圈状的圆周被滚轮4等分成若干部分。本实施例中，图1中仅示意性地画了两个，并不表示本技术滚轮的数量仅限于2个，在本技术另一优选的实施例中，所述滚轮4的数量为4个。所述旋转圆盘6平行于所述密封圈2的安装位置，所述手柄7与所述旋转圆盘6垂直连接，且所述手柄7与所述旋转圆盘6的连接处位于所述旋转圆盘6的圆心位置。本实施例并未对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具，用以将密封圈安装到机台上的沟槽处，其特征在于：包括套筒、手柄、转动圆盘和至少两个滚轮，每个所述滚轮均与所述转动圆盘连接，所述转动圆盘通过绕自身轴心的旋转驱动所述滚轮沿着所述密封圈的安装位置运动，所述滚轮滚压在所述密封圈上，所述转动圆盘还与所述手柄连接，所述转动圆盘与所述手柄通过所述手柄的转动操作实现同步旋转，所述套筒与机台固定连接，所述套筒包括一个底板，所述手柄穿过所述底板上的孔与所述转动圆盘连接，使得所述手柄仅能沿该孔的轴向移动和绕该孔的轴向旋转。

【技术特征摘要】
1.一种炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具，用以将密封圈安装到机台上的沟槽处，其特征在于:包括套筒、手柄、转动圆盘和至少两个滚轮，每个所述滚轮均与所述转动圆盘连接，所述转动圆盘通过绕自身轴心的旋转驱动所述滚轮沿着所述密封圈的安装位置运动，所述滚轮滚压在所述密封圈上，所述转动圆盘还与所述手柄连接，所述转动圆盘与所述手柄通过所述手柄的转动操作实现同步旋转，所述套筒与机台固定连接，所述套筒包括一个底板，所述手柄穿过所述底板上的孔与所述转动圆盘连接，使得所述手柄仅能沿该孔的轴向移动和绕该孔的轴向旋转。2.如权利要求1所述的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具，其特征在于:还包括弹簧，所述弹簧位于所述手柄外侧，且所述弹簧的两端通过自身的张力分别顶住所述底板和旋转圆盘。3.如权利要求1所述的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：关英来，刘刚，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：