基板保持环固持机构制造技术

本发明专利技术提供一种即便外周端部存在翘曲的基板保持环，也可保持着水平姿势进行固持、搬送的基板保持环的固持机构。本发明专利技术是固持基板保持环的固持机构，该基板保持环为环状且平板状的环，且铺设有黏着保持基板的黏着片，该基板保持环的固持机构包含：支撑器件，从下方支撑基板保持环；及压固器件，从上方压固基板保持环；通过支撑器件支撑基板保持环的相对外周侧，且压固器件压固基板保持环的相对内周侧，而在支撑器件形成的支撑区域与压固器件形成的压固区域在水平方向上错开的状态下固持基板保持环。

【技术实现步骤摘要】
基板保持环固持机构
本专利技术涉及一种搬送作为环状且平板状的环且铺设有黏着保持基板的黏着片的基板保持环时，固持基板保持环的固持机构。
技术介绍
制造半导体元件等电子装置、或发光元件、受光元件等光学装置之类的装置的制程通常包含将经实施成膜处理等的基板(母基板)分割为多个胚片的步骤。在该分割步骤中，通常，作为成为分割对象的基板的保持部件，准备在环状且平板状的环上铺设有黏着片的金属制基板保持环(也称为晶片环(waferring)、切片环(dicingring)等)，且将该黏着片上贴附有基板的状态的基板保持环搬送至进行分割的装置。已众所周知如下的方式：将这种基板保持环预先多段地收容在称为匣盒(magazine)等的收容体中，在对基板进行预期的处理时，利用规定的搬送机构搬出，以及处理结束后，利用该搬送机构将晶片环收容到收容体中(例如参照专利文献1及专利文献2)。这种搬送机构对基板保持环的搬送通常是通过搬送机构中配备的固持器件从一侧方固持处于水平姿势的基板保持环的外周端部，且保持着该水平姿势，搬送机构进行移动而实施。例如，专利文献1中的夹具(clamp)工作部相当于固持器件，专利文献2中的夹持器(gripper)相当于固持器件。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2005-310976号公报[专利文献2]日本专利特开2010-28064号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]基板保持环通常反复用于不同基板的分割。因此，较理想为保持着不存在翘曲的均匀平坦状态持续使用。然而，实际上，存在反复使用之中，或者因进行黏着片的更换贴附，而在基板保持环产生翘曲的情况。该翘曲通常是以贴附有黏着片的一侧的面凸起的方式产生。换句话说，当以黏着片成为下侧的方式将基板保持环保持为水平姿势时，成为越朝向外周端部越向上方翘曲的状态。在不存在翘曲的均匀平坦的基板保持环的情况下，即使搬送机构的固持器件从一侧方固持处于水平姿势的基板保持环的外周端部，基板保持环也保持水平姿势。与此相对，在同样地固持作为整体处于水平姿势但存在如上所述那样翘曲的基板保持环的外周端部时，基板保持环成为由固持器件固持的部分成为水平，但越朝向与该固持部分为相反侧的外周端部越从水平位置上升的姿势。如果搬送机构在与收容体之间搬入或搬出处于这种姿势的基板保持环，那么基板保持环将碰撞到收容体的收容口附近，或者基板保持环将接触收容体的内部等，从而可能产生导致基板保持环进一步变形等不良情况。此外，也考虑通过使收容体的收容口的尺寸或收容部的间隔变大而消除该不良情况的方案，但在此方案下，会使收容体的每一单位体积中的基板保持环的收容个数(基板的收容片数)变小，导致制造成本增大，因此不现实。从制造成本的方面来说，反而期望一方面容许某种程度范围内的翘曲，一方面使收容体的每一单位体积中的基板保持环的收容个数尽可能地增多。在专利文献1及专利文献2中，对于这种具有翘曲的基板保持环的处理，并无任何揭示或启示。本专利技术是鉴于所述课题而完成，其目的在于提供一种不仅均匀平坦的基板保持环，而且外周端部存在翘曲的基板保持环，均可保持着水平姿势进行固持、搬送的基板保持环的固持机构。[解决问题的技术手段]为解决所述问题，技术方案1的专利技术特征在于：其是固持基板保持环的固持机构，所述基板保持环为环状且平板状的环，且铺设有黏着保持基板的黏着片，所述基板保持环固持机构包含：支撑器件，从下方支撑所述基板保持环；及压固器件，从上方压固所述基板保持环；且通过所述支撑器件支撑所述基板保持环的相对外周侧，所述压固器件压固所述基板保持环的相对内周侧，而在所述支撑器件形成的支撑区域与所述压固器件形成的压固区域水平方向地错开的状态下，固持所述基板保持环。技术方案2的专利技术是根据技术方案1所述的固持机构，其特征在于：所述支撑器件包含：平坦的支撑部，具有与所述基板保持环的形状相应的大致弓形的形状，且支撑所述基板保持环的下表面；及抵接部，从侧方抵接于所述基板保持环的所述外周端部；且所述压固器件是对于由所述支撑器件枢转支承的规定的转动轴可转动地设置，通过在所述基板保持环一面抵接于所述抵接部一面由所述支撑部支撑的状态下，所述压固器件从上方对所述基板保持环施力，而固持所述基板保持环。技术方案3的专利技术是根据技术方案2所述的固持机构，其特征在于：所述压固器件包含：柱部，供插嵌所述转动轴；平板部，对于所述柱部倾斜地设置，及压固爪，从所述平板部延伸，且于固持所述基板保持环时压固所述基板环；且当所述柱部处于大致垂直姿势时，成为固持所述基板保持环的固持姿势。技术方案4的专利技术是根据技术方案1至3中任一项所述的固持机构，其特征在于：所述支撑区域与所述压固区域在水平方向上不具有重叠。[专利技术的效果]根据技术方案1至技术方案4的专利技术，即使对以往难以用水平姿势进行搬送的存在翘曲的基板保持环，也能够以水平姿势进行固持并搬送。附图说明图1是表示本实施方式的基板保持环固持机构100固持基板保持环1的情况的立体图。图2(a)、(b)是表示将基板保持环1收容在卡匣(cassette)3前后的情况的图。图3是活动部20的立体图。图4是固持基板保持环1的状态的基板保持环固持机构100的侧视图。图5是图2的A-A截面的剖视图。图6是图5所示的部分E的放大图。图7是保持基板保持环1的状态的基板保持环固持机构1000的俯视图。图8是图7的B-B截面的剖视图。图9(a)、(b)是例示外周部分成为翘曲部分1f的基板保持环1的图。图10是基板保持环固持机构100固持存在翘曲的基板保持环1时通过压固爪23的位置处的垂直剖视图。图11是以往的基板保持环固持机构1000固持存在翘曲的基板保持环1时通过压固爪1023的位置处的垂直剖视图。[符号的说明]1基板保持环1a(基板保持环的)本体1b黏着片1c(基板保持环的)内周端1d基板保持区域1e(基板保持环的)外周端1f(基板保持环的)翘曲部分3卡匣3a(卡匣的)开口部3b(卡匣的)载置部10基部11支撑部11a(支撑部的)上表面11b(支撑部的)弓形状端部12抵接部13轴承20活动部21平板部22柱部22a贯通孔22b转动轴22c突起部23、1023压固爪23a前端部100、1000基板保持环固持机构RE1支撑区域RE2压固区域具体实施方式<基板保持环固持机构100的概略>图1是表示本实施方式的基板保持环固持机构100固持基板保持环1的情况的立体图。基板保持环1系包含呈环状且平板状的金属制环即本体1a、及黏着片1b。基板保持环1也称为晶片环、切片环等。更详细来说，黏着片1b是以其黏着面在由本体1a的内周端1c包围的圆形区域露出，成为平坦的基板保持区域1d的方式，铺设贴附于本体1a的背面。基板保持环固持机构100概略地说是以水平姿势固持基板保持环1的机构。此外，基板保持环固持机构100形成搬送基板保持环1的未图示的搬送机构的一部分。即，通过在以水平姿势固持基板保持环1的状态下，利用未图示的驱动器件驱动该搬送机构，而搬送基板保持环1。图2是为了例示基板保持环1的搬送的一方式而表示将基板保持环1收容在卡匣3的前后情况的图。此外，在图2中例示搬送未保持基板的基板保持环1的情况，但基板保持环1的搬送方式无论是否保持基板均相同。图2(a)本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板保持环固持机构，其特征在于：其是固持基板保持环的固持机构，所述基板保持环为环状且平板状的环，且铺设有黏着保持基板的黏着片，所述基板保持环固持机构包含：支撑器件，从下方支撑所述基板保持环；及压固器件，从上方压固所述基板保持环；通过所述支撑器件支撑所述基板保持环的相对外周侧，且所述压固器件压固所述基板保持环的相对内周侧，而在所述支撑器件形成的支撑区域与所述压固器件形成的压固区域水平方向地错开的状态下固持所述基板保持环。

【技术特征摘要】
2012.08.01 JP 2012-1709641.一种基板保持环固持机构，其特征在于：其是固持基板保持环的固持机构，所述基板保持环为环状且平板状的环，且铺设有黏着保持基板的黏着片，所述基板保持环固持机构包含：支撑器件，从下方支撑所述基板保持环；及压固器件，从上方压固所述基板保持环；通过所述支撑器件支撑所述基板保持环的相对外周侧，且所述压固器件压固所述基板保持环的相对内周侧，而在所述支撑器件形成的支撑区域与所述压固器件形成的压固区域水平方向地错开的状态下固持所述基板保持环，所述支撑器件包含：平坦的支撑部，具有与所述基板保持环的形状相应的大致弓形的形状，且支撑所述基板保持环的下表面；及抵接部，从侧方抵接于所述基板保持环的所述外周端部；所述压固器件是对于由所述支撑器件枢转支承的规定的转动轴可转动地设置，且通过在所述基板保持环一面抵接于所述抵接部一面由所述支...

【专利技术属性】
技术研发人员：黑田直洋，太田欣也，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：