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本发明提供一种即便外周端部存在翘曲的基板保持环，也可保持着水平姿势进行固持、搬送的基板保持环的固持机构。本发明是固持基板保持环的固持机构，该基板保持环为环状且平板状的环，且铺设有黏着保持基板的黏着片，该基板保持环的固持机构包含：支撑器件，从...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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