基板支撑装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基板支撑装置，所述基板支撑装置包括一工作平台，用以支撑一基板；以及一中央支架和角部支架，用于将所述基板移入或移出所述工作平台，所述中央支架设置在所述工作平台上，包括第一升降支撑柱、一纵杆和多个横杆，所述纵杆连接于所述第一升降支撑柱一端，所述多个横杆设置在所述纵杆上，所述第一升降支撑柱垂直于所述纵杆和所述多个横杆所在的平面并可升降地支撑所述纵杆和所述多个横杆；所述角部支架设置在所述工作平台的角部，每个角部支架包括第二升降支撑柱和垂直连接于所述第二升降支撑柱一端的顶杆，所述顶杆与所述纵杆共面。本发明专利技术支撑面更大，大大减少了玻璃基板的弯曲量。

【技术实现步骤摘要】
基板支撑装置
本专利技术涉及平板显示面板制造领域，尤其涉及一种基板支撑装置。
技术介绍
现有技术中，随着面板行业的迅猛发展，对玻璃基板的薄化要求也随之提高。厚度减薄后的玻璃基板的弯曲(Bending)量大大增加，随之破片率也大大增加，给真空镀膜设备带来很大的挑战。对于镀膜装置，其需要在镀膜之前进行抽真空的操作，因此在镀膜平台的上游具有用于抽真空的工作平台。现有技术的这种用于抽真空的工作平台如图1所示，在工作平台I上，分布着三行三列共九根升降支撑杆(Lift-Pin)2，图1中的虚线表示被支撑支撑杆所支撑的玻璃基板(Substrate)的理想状态。升降支撑杆2在支撑玻璃基板时升起,其他时间，升降支撑杆2可以收回至工作平台I内。然而，现有技术的工作平台I的升降支撑杆2分布在玻璃基板3的边缘及中央位置，如图2所示，以现有技术的升降支撑杆2，用来支撑0.5?0.7mm的玻璃基板3尚且可以。但是无法应对0.3?0.4mm的玻璃基板。因为在玻璃基板3厚度减薄时，其弯曲量加大，两升降支撑杆2中间位置的玻璃基板3距离工作平台I的表面的距离减小，这使得自动机械的机械臂9进行取片时，没有足够的空间(主要是高度)伸入到玻璃基板3与工作平台I之间，容易因干涉而产生撞片和破片现象，影响正常生产的进行。因此，需要一种新型支撑结构，对玻璃基板3进行有效支撑，减少玻璃基板3的弯曲量，避免弯曲的玻璃与自动机械(Robot)的机械臂9发生干涉，以降低破片率，维护生产的正常进行。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本专利技术的目的为提供一种基板支撑装置，以解决现有技术的升降支撑杆支撑玻璃基板时因玻璃基板弯曲量大而造成易与自动机械干涉，破片率高的技术问题。为实现上述目的，本专利技术的技术方案如下:一种基板支撑装置，所述基板支撑装置包括一工作平台，用以支撑一基板；以及一中央支架和角部支架，用于将所述基板移入或移出所述工作平台，所述中央支架设置在所述工作平台上，包括第一升降支撑柱、一纵杆和多个横杆，所述纵杆连接于所述第一升降支撑柱一端，所述多个横杆设置在所述纵杆上，所述第一升降支撑柱垂直于所述纵杆和所述多个横杆所在的平面并可升降地支撑所述纵杆和所述多个横杆；所述角部支架设置在所述工作平台的角部，每个角部支架包括第二升降支撑柱和垂直连接于所述第二升降支撑柱一端的顶杆，所述顶杆与所述纵杆共面。本专利技术的有益效果在于，本专利技术的基板支撑装置，加装了中央支架和角部支架后，基板支撑装置与玻璃基板接触面积比现有技术的升降支撑杆与玻璃基板的接触面积显著增加，支撑面更大，大大减少了玻璃基板的弯曲量。且加装的中央支架和角部支架选在玻璃基板下方的中间位置与边缘位置，与自动机械的机械臂无干涉。大大降低了破片率，维护了生产的正常进行。【附图说明】图1为现有技术的用于抽真空的工作平台示意图；图2为现有技术的玻璃基板弯曲情况示意图；图3为自动机械在现有技术用于抽真空的工作平台取片时的示意图；图4为本专利技术第一实施例的基板支撑装置支撑玻璃基板的俯视示意图；图5为本专利技术第一实施例的基板支撑装置的中央支架的立体示意图；图6为本专利技术第一实施例的基板支撑装置支撑玻璃基板的主视示意图；图7为本专利技术第一实施例的基板支撑装置的角部支架的立体示意图；图8为本专利技术第二实施例的基板支撑装置支撑玻璃基板的俯视示意图；图9为本专利技术第二实施例的基板支撑装置的中央支架的立体示意图；图10为自动机械在本专利技术第一实施例的基板支撑装置取片时的示意图；图11为本专利技术第三实施例的基板支撑装置支撑玻璃基板的俯视示意图。【具体实施方式】体现本专利技术特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本专利技术能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本专利技术的范围，且其中的说明及附图在本质上是当作说明之用，而非用以限制本专利技术。本专利技术实施例的基板支撑装置中的工作平台，优选的为镀膜平台上游的用于抽真空的工作平台。下面具体介绍本专利技术第一至第四实施例的基板支撑装置。但本专利技术并不局限于这四个实施例。第一实施例:如图4-图7所示，本专利技术第一实施例的基板支撑装置包括中央支架和角部支架8，中央支架替代现有技术中的位于工作平台I中央位置的三个升降支撑杆2，而角部支架8则替代现有技术中位于工作平台I的四个角部位置的升降支撑杆2，因此本实施例中，至少可以节省两个升降支撑杆2的设置。下面分别介绍中央支架和角部支架8。如图4所示，中央支架设置于工作平台I的纵向中间位置，如图5所示，中央支架包括第一升降支撑柱7、纵杆5和横杆61、62、63、64，第一升降支撑柱7垂直于纵杆5和横杆61、62、63、64所在的平面，并且横杆61、62、63、64也垂直于所述纵杆5,横杆61、62、63、64和纵杆5的上表面形成一个支撑平面，以对玻璃基板3形成稳定的支撑。而角部支架8，设置于所述工作平台I，位置与被支撑的玻璃基板3的角部相对应，如图6和图7所示，角部支架8包括第二升降支撑柱81和顶杆82，顶杆82与横杆61、62、63、64共面，顶杆82顶部的支撑平面与中央支架的支撑平面共面。第二升降支撑柱81与顶杆82垂直。其中，第一升降支撑柱7和第二升降支撑柱81可为圆柱状，也可以为三棱柱、四棱柱状等。第一升降支撑柱7可以是现有技术的升降支撑杆2，在升降支撑杆2上加装纵梁5和横梁61、62、63、64形成中央支架，也可以是将中央支架的纵梁5、横梁61、62、63、64和第一升降支撑柱7—体成型。同样，第二升降支撑柱81也可以是现有技术的位于中央平台I的四个角部的升降支撑杆2，在升降支撑杆2上加装顶杆82形成角部支架8，也可以是将角部支架8的第二升降支撑柱81和顶杆82 —体成型。因此本专利技术的基板支撑装置，既可以在现有设备的基础上改造成型，也可以重新制造。如图5所示，本实施例的基板支撑装置，横杆的数量为四个，但本专利技术并不以此为限制，可以根据工作平台I的面积，以及所要支撑的玻璃基板3的实际弯曲程度，以弯曲部分距离工作平台I的最小距离大于机械臂9正常取放片所需的最小空间来确定两相邻横杆之间的适合间隔，以计算得到所需的横杆的数目，以达到最好的支撑效果。如图5所示，本实施例的基板支撑装置，相邻两横杆61、62、63、64之间的间距相等，但本专利技术也并不以此为限。如图7所示，本实施例的基板支撑装置，其角部支架8的顶杆82自所述第二升降支撑柱81的顶端向所述中央支架的方向延伸，由图7可知，角部支架8整体呈L形，由于支撑升降支撑柱81和顶杆82的形状可以完全相同，因此在使用时，并不需严格区分哪边是支撑升降支撑柱81，哪边是顶杆82，增加了安装的便利性。同时，第二升降支撑柱81的设置位置也不限于是在顶杆82的端部，也可以位于顶杆82下表面的其他位置，例如中点位置。如图5所示，本实施例中，中央支架的第一升降支撑柱7为一对，设置于纵杆5的两端。现有技术的升降支撑杆2，由于其是圆柱形，因此在需要收回时，升降支撑杆2的顶端完全可以收回至工作平台I的表面平齐的位置或低于工作平台I的表面，本专利技术实施例的基板支撑装置，已经不再是简单的圆柱型，因此如要收回至工作平台I的表面平齐的位置或低于工作平台I的表面，则需要在工作平台I上形成相应的凹槽，以容置中央支架的纵杆5和横杆61、62、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板支撑装置，所述基板支撑装置包括一工作平台，用以支撑一基板；以及一中央支架和角部支架，用于将所述基板移入或移出所述工作平台，其特征在于，所述中央支架设置在所述工作平台上，包括第一升降支撑柱、一纵杆和多个横杆，所述纵杆连接于所述第一升降支撑柱一端，所述多个横杆设置在所述纵杆上，所述第一升降支撑柱垂直于所述纵杆和所述多个横杆所在的平面并可升降地支撑所述纵杆和所述多个横杆；所述角部支架设置在所述工作平台的角部，每个角部支架包括第二升降支撑柱和垂直连接于所述第二升降支撑柱一端的顶杆，所述顶杆与所述纵杆共面。

【技术特征摘要】
1.一种基板支撑装置，所述基板支撑装置包括一工作平台，用以支撑一基板；以及一中央支架和角部支架，用于将所述基板移入或移出所述工作平台，其特征在于， 所述中央支架设置在所述工作平台上，包括第一升降支撑柱、一纵杆和多个横杆，所述纵杆连接于所述第一升降支撑柱一端，所述多个横杆设置在所述纵杆上，所述第一升降支撑柱垂直于所述纵杆和所述多个横杆所在的平面并可升降地支撑所述纵杆和所述多个横杆； 所述角部支架设置在所述工作平台的角部，每个角部支架包括第二升降支撑柱和垂直连接于所述第二升降支撑柱一端的顶杆，所述顶杆与所述纵杆共面。2.如权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述多个横杆的数量为3-6个。3.如权利要求2所述的基板支撑装置，其特征在于，所述多个横杆中相邻横杆之间的间距至少部分不等。4.如权利要求1-3所述的基板支撑装置，其特征在于，所述多个横杆中各横杆的长度至少部分不同。5.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王云靖，刘滔滔，郭世佳，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：发明
国别省市：