金属微米亚微米管阵列的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种金属微米亚微米管阵列的制备方法，该方法包括以下步骤：根据专利ZL200710134575.2的方法获得松香填充石英纤维空隙的复合结构；将上述结构置于HF酸溶液中腐蚀去除石英纤维，形成存在中空微管结构阵列的松香微结构；在上述中空微管结构阵列的微管侧壁采用化学镀、电镀、原子层沉积等方法沉积金、铂、银、镍、铜等或其任意组合的金属薄膜；去除松香，获得金属的微米/亚微米管阵列结构。本发明专利技术方法新颖，获得的微结构可在光电等领域获得应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种亚微米和微米微结构材料的制备方法，特别是一种金属微米/亚微米管阵列结构的制备技术。
技术介绍
金属微米/亚微米管阵列结构具有广泛的应用。例如，其独特的结构可以在内部形成很强的磁场；电磁波与其相互作用可激发surface plasma ;同时其具有良好的导电性。因此，其在光电、传感、催化等领域具有广泛的应用。但金属微米/亚微米管阵列结构的制备相对于氧化物材料更难以制备。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种制备成本低的。为了实现上述专利技术目的，本专利技术采用的技术方案如下:的制备方法，包括以下步骤:(I)根据专利ZL200710134575.2的方法获得松香填充石英纤维空隙的复合结构；(2)将上述结构置于HF酸溶液中腐蚀去除石英纤维，形成存在中空微管结构阵列的松香微结构；(3)在上述中空微管结构阵列的微管侧壁采用化学镀、电镀、原子层沉积等方法沉积金、钼、银、镍、铜等或其任意组合的金属薄膜；(4)去除松香，获得金属的微米/亚微米管阵列结构。本专利技术与现有技术相比，其显著优点是成本低廉，无需大型仪器，工艺简单可靠。本专利技术方法新颖，获得的微结构可在光电本文档来自技高网...

【技术保护点】
金属微米亚微米管阵列的制备方法，其特征是，所述方法包括以下步骤：（1）根据专利ZL200710134575.2的方法获得松香填充石英纤维空隙的复合结构；（2）将上述结构置于HF酸溶液中腐蚀去除石英纤维，形成存在中空微管结构阵列的松香微结构；（3）在上述中空微管结构阵列的微管侧壁沉积金属薄膜；（4）去除松香，获得金属的微米/亚微米管阵列结构。

【技术特征摘要】
1.金属微米亚微米管阵列的制备方法，其特征是，所述方法包括以下步骤:(1)根据专利ZL200710134575.2的方法获得松香填充石英纤维空隙的复合结构； (2)将上述结构置于HF酸溶液中腐蚀去除石英纤维，形成存在中空微管结构阵列的松香微结构； (3)在上述中空微管结构阵列的微管侧壁沉积金属薄膜； (4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢明辉，
申请(专利权)人：无锡英普林纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：