玻璃基仿生微纳通道及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种玻璃基仿生微纳通道及其制作方法，该微纳通道为采用组分均匀一致并且光学和力学性能优良的玻璃材料加工而成的微纳通道，该微纳通道的横截面呈规整圆形，微纳通道上具有各种尺寸大小的功能单元，各功能单元之间是自然过渡并且尺寸是连续变化；该方法利用玻璃的软化成型特性，以毫米级玻璃毛细管为毛坯，通过拉伸细化、软化吹制和软化收缩等步骤，加工出具有不同功能单元的玻璃基仿生微通道。本发明专利技术的玻璃基仿生微纳通道，结构简单可靠，流动性能良好，可有效改善微纳流体系统性能；该制作方法具有工艺可靠、所需设备简单、操作方便、成本低廉等优点，且加工精度高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微纳加工与微流体器件
，涉及基于玻璃软化成型工艺的仿生微纳通道及制作方法，尤其适用于微流控芯片、微混合器、微量检测等微流体系统的微通道。
技术介绍
近年来，微流体系统在生物、医疗、微化工、环境检测等领域得到了广泛应用，对其性能、精度、成本等方面提出了越来越苛刻的要求。微流体系统通常由微驱动源、微流路(包括微通道与进出接口)、微阀、储液池、混合(反应)室等单元组成，其中微通道具有其它单元的连接和替代功能，可执行流体输运、操作、处理等操作，是微流体系统的核心元件。目前，微通道加工工艺可分为三种类型:第一类是基于蚀刻、光刻、腐蚀等技术的微机械加工工艺(Verpoorte E, De Rooij NF.Microfluidics meets MEMS.Proceedings of the IEEE, 2003, 91(6):930-953.林金明，李海芳.高聚物微流控芯片的制备方法.中国专利:ZL200410042716.4,2009-07-01.)，适合于硅及其氧化物、玻璃、高聚物等材料的微通道加工，可达微米或亚微米量级，但微通道截面形状包括三角形、矩形和半圆形三本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基仿生微纳通道，其特征在于：该微纳通道为采用组分均匀一致并且光学和力学性能优良的玻璃材料加工而成的微纳通道，该微纳通道的横截面呈规整圆形，微纳通道上具有各种尺寸大小的功能单元，各功能单元之间是自然过渡并且尺寸是连续变化。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：田桂中，周宏根，李滨城，李磊，景旭文，
申请(专利权)人：江苏科技大学，
类型：发明
国别省市：