基板的更换方法技术

于本发明专利技术的基板保持具(30a)，形成有收容用于基板(P)的搬送的基板托盘(40a)的X槽(31x)。此外，于X槽(31x)内，设有按压基板托盘(40a)使基板(P)与基板托盘(40a)一起移动的基板搬出装置(70a)。因此，能在对基板(P)的曝光处理结束后，为更换基板(P)而使基板载台(20a)位于基板更换位置之前，开始基板(P)的搬出动作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板的更换方法
本专利技术是关于物体的搬出方法、物体的更换方法、物体保持装置、曝光装置、平面显示器的制造方法以及元件制造方法，详言之，是关于将物体保持装置上的物体与物体支承构件一起从前述物体保持装置搬出的物体的搬出方法、包含前述物体的搬出方法的前述物体保持装置上的物体的更换方法、具备用以搬出前述物体的搬出装置的至少一部的物体保持装置、具备前述物体保持装置的曝光装置、使用前述曝光装置的平面显示器的制造方法、以及使用前述曝光装置的元件制造方法。
技术介绍
一直以来，于制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路)等电子元件(微元件)的光刻工艺，主要是使用步进重复(step&repeat)方式的投影曝光装置(所谓的步进机)、或步进扫描(step&scan)方式的投影曝光装置(所谓的扫描步进机(亦称为扫描机))等。作为此种曝光装置，已知有将曝光对象物的玻璃板或晶圆(以下，统称为“基板”)使用既定基板搬送装置对基板载台装置进行搬入及搬出者(例如，参照专利文献1)。此处，于曝光装置，当对基板载台装置所保持的基板进行的曝光处理结束时，将该基板从基板载台上搬出，并将另一基板搬送至基板载台上，据以连续进行对复数个基板的曝光处理。因此，在对复数个基板连续进行曝光处理时，最好是能迅速地进行基板从基板载台装置的搬出。先行技术文献专利文献1：美国专利第6,559,928号说明书
技术实现思路
本专利技术有鉴于上述情事，其第1观点为一种物体的搬出方法，包含：使保持有用以保持物体的物体保持构件与用于该物体的搬送的物体支承构件的物体保持装置，朝向从该物体保持构件上搬出该物体的物体搬出位置移动；以及在该物体保持装置到达该物体搬出位置前，开始将该物体从该物体保持构件上搬出的搬出动作。根据此方法，由于是在物体保持装置到达物体搬出位置的前开始物体的搬出动作，因此能迅速进行物体保持构件上的物体的搬出动作。本专利技术第2观点，为一种在物体保持装置上的物体的更换方法，包含：实施本专利技术第1观点的物体的搬出方法的动作；在该物体保持装置到达该物体搬出位置前，使被支承于另一物体支承构件的另一物体待机于既定待机位置的动作；在该物体保持装置位于该物体搬出位置的状态下，将该物体与支承该物体的该物体支承构件从该物体保持装置搬出的动作；以及将位于该待机位置的该另一物体与支承该另一物体的该另一物体支承构件一起搬入该物体保持装置上的动作。本专利技术第3观点，为一种物体保持装置，具备：保持物体与用于搬送该物体的物体支承构件的物体保持构件；以及将该物体保持构件所保持的该物体与支承该物体的该物体支承构件一起从该物体保持构件上搬出的搬出装置的的至少一部分。本专利技术第4观点，为一种曝光装置，包含：本专利技术第3观点的物体保持装置；以及于该物体使用能量束形成既定图案的图案形成装置。本专利技术第5观点，为一种曝光装置，是通过能量束使物体曝光以于该物体形成图案，包含：物体保持装置，具有用以保持该物体与用于搬送该物体的物体支承构件的物体保持构件、与将该物体保持构件所保持的该物体与用以支承该物体的该物体支承构件一起从该物体保持构件上搬出的搬出装置的至少一部；以及图案形成装置，使用能量束于该物体形成既定图案。本专利技术第6观点，为一种平面显示器的制造方法，包含：使用本专利技术第4或第5观点的曝光装置使该物体曝光的动作；以及使曝光后的该物体显影的动作。本专利技术第7观点，为一种元件制造方法，包含：使用本专利技术第4或第5观点的曝光装置使该物体曝光的动作；以及使曝光后的该物体显影的动作。附图说明图1为概略显示第1实施形态的液晶曝光装置的构成的图。图2(A)为用于图1的液晶曝光装置的基板托盘的俯视图、图2(B)为图2(A)的基板托盘的侧视图。图3为图1的液晶曝光装置所具有的基板保持具及埠部的俯视图。图4(A)为显示基板保持具与基板托盘的组合状态的俯视图、图4(B)为图4(A)的A－A线剖面图。图5为图1的液晶曝光装置所具有的基板搬入装置的俯视图。图6(A)～图6(C)为用以说明基板搬入动作的图(其1～其3)。图7(A)及图7(B)为用以说明基板搬出动作的图(其1及其2)。图8(A)～图8(C)为用以说明基板保持具上的基板更换动作的图(其1～其3)。图9(A)为第2实施形态的基板托盘的俯视图、图9(B)为图9(A)的基板托盘的侧视图。图10为第2实施形态的基板保持具及埠部的俯视图。图11(A)～图11(C)为用以说明第2实施形态的基板搬出动作的图(其1～其3)。图12为第3实施形态的基板保持具及埠部的俯视图。图13为第4实施形态的基板保持具的剖面图。图14(A)为第5实施形态的基板保持具的俯视图、图14(B)为显示图14(A)的基板保持具与基板托盘的组合状态的图。图15(A)为第6实施形态的基板托盘的俯视图、图15(B)为显示图15(A)的基板托盘与第6实施形态的基板保持具的组合状态的图。图16为第6实施形态的基板保持具及埠部的俯视图。图17(A)为第7实施形态的基板托盘、基板保持具及埠部的俯视图、图17(B)为用以说明第7实施形态中的基板搬出动作的图。图18为第8实施形态的埠部的俯视图。图19为用以说明在第8实施形态的基板搬出时的基板的动作的图。具体实施方式《第1实施形态》以下，使用图1～图8(C)说明第1实施形态。图1中概略显示了第1实施形态的液晶曝光装置10的构成。液晶曝光装置10，为以用于例如液晶显示装置(平面显示器)等的矩形(方型)玻璃基板P(以下，仅称为基板P)为曝光对象物的投影曝光装置。液晶曝光装置10，包含：照明系IOP、保持光罩M的光罩载台MST、投影光学系PL、用以保持表面(图1中朝向＋Z侧的面)涂有光阻剂(感应剂)的基板P的基板载台装置PST、基板搬入装置50、与外部装置之间进行基板的收授的埠部60a、以及此等的控制系等。以下，将曝光时光罩M与基板P相对投影光学系PL分别被扫描的方向设为X轴方向、水平面内与X轴正交的方向为Y轴方向、与X轴及Y轴正交的方向为Z轴方向，并将绕X轴、Y轴及Z轴旋转的方向分别设为θx、θy及θz方向来进行说明。此外，将于X轴、Y轴及Z轴方向的位置分别设为X位置、Y位置及Z位置来进行说明。照明系IOP具有与例如美国专利第6,552,775号说明书等所揭示的照明系相同的构成。亦即，照明系IOP使从未图示的光源(例如水银灯)射出的光分别经由未图示的反射镜、分色镜、遮帘、滤波器、各种透镜等，作为曝光用照明光(照明光)IL照射光罩M。照明光IL，使用例如i线(波长365nm)、g线(波长436nm)、h线(波长405nm)等的光(或上述ｉ线、g线、h线的合成光)。于光罩载台MST，例如以真空吸附方式吸附保持有于其图案面形成有电路图案等的光罩M。光罩载台MST被搭载于装置本体(机体)的一部分的镜筒平台16上，例如以包含线性马达的光罩载台驱动系(未图示)以既定长行程被驱动于扫描方向(X轴方向)，并适当地被微驱动于Y轴方向及θz方向。光罩载台MST于XY平面内的位置信息(含θz方向的旋转信息)为以包含未图示的雷射干涉仪的光罩干涉仪系统加以求出。投影光学系PL配置在光罩载台MST的下方、以镜筒平台16加以支承。投影光学系PL具有与例如美国专利第6,552,775号说明书所揭示的投影光学系相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物体的搬出方法，包含：使保持有用以保持物体的物体保持构件与用于该物体的搬送的物体支承构件的物体保持装置，朝向从该物体保持构件上搬出该物体的物体搬出位置移动；以及在该物体保持装置到达该物体搬出位置前，开始将该物体从该物体保持构件上搬出的搬出动作。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.05.13 JP 2011-1077891.一种物体的搬出方法，包含：使保持载置有物体的物体保持构件与用于该物体的搬送的物体支承构件的物体保持装置，朝向从该物体保持构件上搬出该物体的物体搬出位置移动；以及在该物体保持装置到达该物体搬出位置前，开始将该物体从该物体保持构件上搬出的搬出动作。2.如权利要求1所述的物体的搬出方法，其中，该搬出动作的开始，使用该物体保持装置所具有的搬出装置使支承该物体的该物体支承构件相对该物体保持构件移动。3.如权利要求1所述的物体的搬出方法，其中，该物体与该物体支承构件通过于该物体搬出位置往第1方向移动而被从该物体保持装置搬出；该搬出动作，与该物体保持装置往与该第1方向交叉的第2方向的移动一起进行。4.如权利要求1所述的物体的搬出方法，其中，该物体支承构件在该物体被保持于该物体保持构件的状态下，从该物体分离而被保持于该物体保持装置；该搬出动作的开始，包含于该物体保持装置上相对该物体驱动该物体支承构件以使之支承该物体的动作、与使支承有该物体的该物体支承构件与该物体一起相对该物体保持构件移动的动作。5.一种物体保持装置上的物体的更换方法，包含：实施权利要求1至4中任一项所述的物体的搬出方法的动作；在该物体保持装置到达该物体搬出位置前，使被支承于另一物体支承构件的另一物体待机于既定待机位置的动作；在该物体保持装置位于该物体搬出位置的状态下，将该物体与支承该物体的该物体支承构件从该物体保持装置搬出的动作；以及将位于该待机位置的该另一物体与支承该另一物体的该另一物体支承构件一起搬入该物体保持装置上的动作。6.如权利要求5所述的物体的更换方法，其中，该搬出动作，使该物体与支承该物体的该物体支承构件沿既定二维平面移动；该搬入动作，使该另一物体与支承该另一物体的该另一物体支承构件沿与该既定二维平面正交的方向移动。7.一种物体保持装置，具备：保持物体与用于搬送该物体的物体支承构件的物体保持构件；以及将该物体保持构件所保持的该物体与支承该物体的该物体支承构件一起从该物体保持构件上搬出的搬出装置的至少一部分；在到达从该物体保持构件上搬出该物体的物体搬出位置之前，该搬出装置开始将该物体从该物体保持构件上搬出的搬出动作。8.如权利要求7所述的物体保持装置，其中，该物体保持构件，于装载该物体的物体保持面部形成有收容该物体支承构件的至少一部分的凹部；该搬出装置被收容在该凹部内。9.如权利要求7所述的物体保持装置，其中，该物体保持构件，在装载该物体的物体保持面部形成有收容该物体支承构件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，柳川卓也，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：
国别省市：