【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备,包括外罩、下平台、衬底、喷雾燃烧装置和抽气装置,所述外罩内部为沉积室,所述下平台设置在外罩底部中央,所述衬底设置在下平台上,所述喷雾燃烧装置设置在衬底上方,所述外罩上开有与外罩内部相通的抽气孔,所述抽气装置与抽气孔相连,所述抽气装置设置在外罩外,其特征在于:所述衬底通过移动装置可移动的设置在下平台上;所述喷雾燃烧装置通过移动调整装置可移动的设置在衬底上方;所述外罩外设有控制装置;所述控制装置控制移动装置和移动调整装置的移动方向和移动速度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:包志豪,李晓冬,
申请(专利权)人:苏州宇豪纳米材料有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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