【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种化学气相沉积系统,其特征在于,包括:结构为箱型并且对外密闭的沉积炉;多个设置在所述沉积炉上并与所述沉积炉相连通,用于向所述沉积炉内输送化学气体的喷嘴;与所述喷嘴相连通的化学气体分配装置;多个设置在所述沉积炉上并与所述沉积炉相连通,用于对所述沉积炉抽真空的抽真空口;与所述抽真空口相连通的抽真空装置;设置在所述沉积炉内壁上的多个加热装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:戴煜,胡祥龙,胡高健,
申请(专利权)人:湖南顶立科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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