一种水致冷铸锭炉及其铸锭工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种水致冷铸锭炉及其铸锭工艺，在热交换台（11）的下端设置水冷盘（13），且水冷盘（13）位于底部加热器（7）的下端，水冷盘（13）内设流腔，并设置进水口（9）和出水口（10），进水口（9）和出水口（10）通过流腔连通，进水口（9）和出水口（10）还分别连通炉体（1）外端。本发明专利技术的有益效果是：本装置采用水冷代替了原有提升隔热笼进行降温的方式，从而解决了因提升隔热笼，侧面散热，导致坩埚径向存在热量的传递，影响柱状晶的形成；也避免了隔热笼体在提升过程中与隔热笼顶部摩擦，产生碳粉尘，易进入坩埚，增加硅锭的碳杂质含量，引起晶格畸变。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种水致冷铸锭炉及其铸锭工艺，在热交换台（11）的下端设置水冷盘（13），且水冷盘（13）位于底部加热器（7）的下端，水冷盘（13）内设流腔，并设置进水口（9）和出水口（10），进水口（9）和出水口（10）通过流腔连通，进水口（9）和出水口（10）还分别连通炉体（1）外端。本专利技术的有益效果是：本装置采用水冷代替了原有提升隔热笼进行降温的方式，从而解决了因提升隔热笼，侧面散热，导致坩埚径向存在热量的传递，影响柱状晶的形成；也避免了隔热笼体在提升过程中与隔热笼顶部摩擦，产生碳粉尘，易进入坩埚，增加硅锭的碳杂质含量，引起晶格畸变。【专利说明】一种水致冷铸锭炉及其铸锭エ艺
本专利技术涉及到ー种多晶硅铸锭炉，特别是涉及到一种水致冷铸锭炉及其铸锭エ艺。
技术介绍
多晶硅铸锭炉是光伏领域中多晶硅生产的主要设备，其工作过程是将掺杂物和多晶硅料在真空、高温状态下，再加入惰性保护气体，经过加热、熔化、定向结晶、退火和冷却几个阶段后长成有一定晶体生长方向的多晶硅錠。现有的铸锭过程中，采用顶部和侧部加热器控制热场分布，在熔化和长晶阶段采取一升降装置提升隔热笼体的方法来本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水致冷铸锭炉，包括炉体（1）、设置在炉体内的隔热笼（3）以及设置在隔热笼（3）中热交换台（11），所述的热交换台（11）上放置有一个坩埚（4），所述的坩埚（4）的顶端及四周分布有加热器，热交换台（11）的下端设置有底部加热器（7），其特征在于：所述的热交换台（11）的下端设置有水冷盘（13），且水冷盘（13）位于底部加热器（7）的下端，水冷盘（13）内设流腔，并设置进水口（9）和出水口（10），进水口（9）和出水口（10）通过流腔连通，进水口（9）和出水口（10）还分别连通炉体（1）外端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林洪峰，李书森，冯媛，刘兴翀，兰洵，龙巍，赵秀生，
申请(专利权)人：天威新能源控股有限公司，
类型：发明
国别省市：