【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于感应加热的托盘，包括导磁材料制作的托盘本体，其特征在于，在所述托盘本体的周向间隔设置多个调节部，用以将由电磁感应在所述托盘本体边缘区域所产生的涡电流向所述托盘本体中心区域引导。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：董志清，张秀川，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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