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本发明提供一种用于感应加热的托盘，包括导磁材料制作的托盘本体，其特征在于，在所述托盘本体的周向间隔设置多个调节部，用以将由电磁感应在所述托盘本体边缘区域所产生的涡电流向所述托盘本体中心区域引导。本发明提供的用于感应加热的托盘可以均匀地加热被...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。