一种采用接近开关的平台调节器制造技术

本发明专利技术公开了一种采用接近开关的平台调节器，包含：研磨头，带动研磨头上下动作的调节手臂，以及控制调节手臂开关的电磁阀，还包含：传感装置，所述的传感装置设置在研磨头与调节手臂之间，所述的传感装置的一端通过电缆与外部的主控制器相连，另一端接地；当外部的主控制装置通过电磁阀控制研磨头向上运动时，传感装置检测研磨头是否与调节手臂相对靠近，若研磨头与调节手臂并未相对靠近，则传感装置断开；继电保护装置，所述的继电保护装置的输入端与外部的主控制器相连，其输出端与电磁阀的输入端相连。本发明专利技术能够有效保护研磨头，增加了研磨头的寿命，并有效保护了研磨头所研磨的晶片以及其他部件。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种采用接近开关的平台调节器，包含：研磨头（1），带动研磨头（1）上下动作的调节手臂（2），以及控制调节手臂（2）开关的电磁阀（4），其特征在于，还包含：传感装置（3），所述的传感装置（3）设置在研磨头（1）与调节手臂（2）之间，所述的传感装置（3）的一端通过电缆与外部的主控制器相连，另一端接地；当外部的主控制装置通过电磁阀（4）控制研磨头（1）向上运动时，传感装置（3）检测研磨头（1）是否与调节手臂（2）相对靠近，若研磨头（1）与调节手臂（2）并未相对靠近，则传感装置（3）断开；继电保护装置（5），所述的继电保护装置（5）的输入端与外部的主控制器相连，其输出端与电磁阀（4）的输入端相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张志慧，龚大伟，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：