【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种步进扫描投影光刻机的照明系统,包括光源(1)、光瞳整形单元(2)、视场定义单元(3)、聚光镜(6),特征在于其构成还包括第一透镜阵列(41)、第一狭缝阵列(51)、第二透镜阵列(42)、第三透镜阵列(43)、第二狭缝阵列(52)、第四透镜阵列(44)和扫描驱动单元(8),所述的视场定义单元由第一微透镜阵列(31)和第二微透镜阵列(32)组成,第一微透镜阵列(31)的前表面为母线沿Y方向的微柱面镜(311)沿X方向以周期d1排布而成,后表面母线沿X方向的微柱面镜(312)沿Y方向以周期d2排布而成,第二微透镜阵列(32)的前表面与第一微透镜阵列(31)的后表面相同,第二微透镜阵列(32)的后表面与第一微透镜阵列(31)的前表面相同;所述的第一透镜阵列(41)、第二透镜阵列(42)、第三透镜阵列(43)、第四透镜阵列(44)均是由多个相同参数的透镜沿一维或二维空间周期排布而成,所述的第一透镜阵列(41)、第二透镜阵列(42)、第三透镜阵列(43)、第四透镜阵列(44)具有相同的透镜数目和排布方式,在空间上一一对应,第一透镜阵列(41)、第二透镜阵列(42)、第三透镜阵列(43)、第四透 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:曾爱军,陈立群,方瑞芳,黄惠杰,
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。