【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法，其特征在于：浸液液体传送系统包括作为服务器的控制分系统，作为客户端的水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统；控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统之间构建形成网络拓扑结构，且采用以太网进行数据交换；采用服务器/客户端模式，在控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统之间建立虚拟通讯关系，为每对虚拟通讯关系建立一条虚拟通讯链路，每条虚拟通讯链路维护物理上的一对节点的会话。
【技术特征摘要】
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