【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种测量反应腔室内薄膜温度的方法，其特征在于，所述方法包括：获取薄膜的探测区域内的采样点集合对波长为λ的光的反射率采样数据R以及所述采样点集合的热辐射值采样数据E，其中所述采样点集合包括至少两个采样点；所述反射率采样数据R为R（i）（i为正整数）组成的集合、所述热辐射值采样数据E为E（i）组成的集合，其中R（i）为第i个采样点对所述光的反射率、E（i）为所述第i个采样点的热辐射值，R（i）和E（i）构成第i个采样数据组；依据至少两个所述采样数据组的值计算获得第一修正因子α和第二修正因子γ，其中，0<α≤1,0≤γ≤1；根据所述第一修正因子α和第二修正因子γ的值以及至少两个所述采样数据组的值获取所述薄膜的探测区域对所述波长为λ的光的黑体辐射值Lb；根据所述黑体辐射值Lb以及所述波长λ的值查表获得所述探测区域的温度值T。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，张朝前，马砚忠，李有森，陈志浩，李天笑，
申请(专利权)人：中微半导体设备上海有限公司，北京智朗芯光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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