【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种单晶炉副室清扫装置,包括由一对钳柄(1)和钳臂(2)构成的夹钳;其特征在于:所述两个钳臂(2)的顶端各固定有一个半圆形的夹盘(4),且两个夹盘(4)的开口相对设置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘英江,王江山,李广哲,
申请(专利权)人:宁晋晶兴电子材料有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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