一种单晶炉副室清扫装置制造方法及图纸

技术编号:9366119 阅读:99 留言:0更新日期:2013-11-21 22:11
本实用新型专利技术公开了一种单晶炉副室清扫装置,包括由一对钳柄和钳臂构成的夹钳,两个钳臂的顶端各固定有一个半圆形的夹盘,且两个夹盘的开口相对设置。本实用新型专利技术整体上采用钳形结构,可以对单晶炉副室进行上下360度全面清理,可以清扫原来上下单一推拉、擦拭时不易清扫的地方,提高了副室清扫质量,降低了正常拉晶作业过程中杂质掉落造成卡棱的可能性,有效的提高了晶体生长的一次成晶率。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种单晶炉副室清扫装置,包括由一对钳柄(1)和钳臂(2)构成的夹钳;其特征在于:所述两个钳臂(2)的顶端各固定有一个半圆形的夹盘(4),且两个夹盘(4)的开口相对设置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘英江王江山李广哲
申请(专利权)人:宁晋晶兴电子材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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