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一种单晶炉副室清扫装置制造方法及图纸
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下载一种单晶炉副室清扫装置的技术资料
文档序号:9366119
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本实用新型公开了一种单晶炉副室清扫装置,包括由一对钳柄和钳臂构成的夹钳,两个钳臂的顶端各固定有一个半圆形的夹盘,且两个夹盘的开口相对设置。本实用新型整体上采用钳形结构,可以对单晶炉副室进行上下360度全面清理,可以清扫原来上下单一推拉、擦拭...
该专利属于宁晋晶兴电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁晋晶兴电子材料有限公司授权不得商用。
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