切削工具用涂层制造技术

技术编号：9360026 阅读：77 留言：0更新日期：2013-11-21 04:57

本发明专利技术提供了一种切削工具用涂层，作为在母材上使用化学气相沉积(CVD)法从底部起以TiN层、TiCN层、结合层、氧化铝(Al2O3)层和被覆层的顺序层积形成的硬质涂层，其能够改善切削性能，这是因为可以通过调整被覆层的组成而无需使用如喷砂操作等另外的追加工序或者CVD与物理气相沉积(PVD)的混合工序，而将该涂层的表面残余应力保持在压缩应力状态，并且同时所述被覆层还可用作耐磨层。本发明专利技术的涂层使用CVD法形成在母材表面上，其中，所述涂层包括由α相形成的氧化铝层和被覆层，所述氧化铝层设置在母材上，并且由具有柱状晶体结构和混入其中的等轴晶体结构的复合结构组成；所述被覆层由AlxTiySizCrwN(此处，x+y+z+w=1，x≥0.75，y≥0.2，0≤z≤0.06，0≤w≤0.08)形成并设置在氧化铝层上。