【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种抗冲击硅基MEMS麦克风，包括：硅基底，在该硅基底中形成有背孔；振膜，该振膜支撑在所述硅基底上并设置在所述硅基底中的背孔的上方；穿孔背板，该穿孔背板设置在所述振膜的上方；空气间隙，该空气间隙形成在所述振膜和所述穿孔背板之间；以及限幅机构，该限幅机构形成在所述硅基底的背孔中，并支撑在所述背孔的侧壁上，在该限幅机构与所述振膜之间形成有预定间隔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡孟锦，
申请(专利权)人：歌尔声学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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