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抗冲击硅基MEMS麦克风及其制造方法技术
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文档序号:9358967
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本发明提供一种抗冲击硅基MEMS麦克风及其制造方法,所述麦克风包括:硅基底,在该硅基底中形成有背孔;振膜,该振膜支撑在所述硅基底上并设置在所述硅基底中的背孔的上方;穿孔背板,该穿孔背板设置在所述振膜的上方;空气间隙,该空气间隙形成在所述振膜...
该专利属于歌尔声学股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔声学股份有限公司授权不得商用。
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