一种提高氮化镓基电流扩展的外延结构及其生长方法技术

技术编号:9357718 阅读:131 留言:0更新日期:2013-11-21 01:07
一种提高氮化镓基电流扩展的外延结构及其生长方法,该外延结构从下向上的顺序依次为:衬底、低温GaN缓冲层、GaN非掺杂层、n型GaN层n1层、n型AlGaN层、n型GaN层n2层、n型GaN层LN层、多量子阱结构MQW、多量子阱有源层、低温P型GaN层、P型AlGaN层、高温P型GaN层和P型接触层。其中n型GaN层LN层的生长步骤包括:先生长n型GaN层nGaN3-1层,接着生长n型AlGaN层,最后再生长n型GaN层nGaN3-2层。本发明专利技术外延结构及其生长方法,能够有效使得电流均匀扩展,提高外延层晶体质量,提高器件性能。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种提高氮化镓基电流扩展的外延结构,其特征在于,该外延结构从下向上的顺序依次为:衬底、低温GaN缓冲层、GaN非掺杂层、n型GaN层、n型GaN层n1层、n型AlGaN层、n型GaN层n2层、n型GaN层LN层、多量子阱结构MQW、多量子阱有源层、低温P型GaN层、P型AlGaN层、高温P型GaN层和P型接触层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郭丽彬蒋利民李刚
申请(专利权)人:合肥彩虹蓝光科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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